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J-GLOBAL ID：201702283915682881   整理番号：17A1731375

BCBポリマ系の行と列のアドレスCMUT【Powered by NICT】

BCB polymer based row-column addressed CMUT

著者 (6件)： Havreland Andreas (DTU Nanotech, The Technical University of Denmark, Kongens Lyngby, Denmark) ,  Ommen Martin (DTU Nanotech, The Technical University of Denmark, Kongens Lyngby, Denmark) ,  Silvestre Chantal (DTU Nanotech, The Technical University of Denmark, Kongens Lyngby, Denmark) ,  Engholm Mathias (DTU Nanotech, The Technical University of Denmark, Kongens Lyngby, Denmark) ,  Jensen Jorgen (Center for Fast Ultrasound Imaging, Department of Electrical Engineering, The Technical University of Denmark, Kongens Lyngby, Denmark) ,  Thomsen Erik (DTU Nanotech, The Technical University of Denmark, Kongens Lyngby, Denmark)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IUS  ページ： 1  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二次元トランスデューサアレイ行(RC)が使用されているかどうかをリアルタイム3D超音波イメージングを行うのに必要な送信と受信のチャネルの数を大幅に低減できる。しかし,RC CMUTを作製する挑戦的であることを示した。困難は典型的には誘電体薄膜における可動電荷に関連した高温プロセスと帯電効果に関連した応力問題あり,全体的に低収率および/または時間依存性能が得られた。これらの問題を克服するために,ビスベンゾシクロブテン(BCB)ポリマ接着剤結合を用いることができ,以前の研究[1]は,単一要素のための有望な結果を示した。寄与は石英基板上にBCBへのケイ素結合を有するRC CMUTのためのBCBの実現を提案した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 帯電 ,  時間依存性 ,  *重合体 ,  超音波画像 ,  誘電体薄膜 ,  高温 ,  チャネル ,  ケイ素 ,  二次元 ,  電荷 ,  三次元 ,  接着剤
準シソーラス用語： 石英基板 ,  実時間 ,  *CMUT , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： ポリマ ,  アドレス ,  CMUT