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J-GLOBAL ID:201702284026151823   整理番号:17A1731209

ブリージングモード高次シリコンディスク共振器における支持損失回避【Powered by NICT】

Support loss evasion in breathing mode high-order silicon disc resonators
著者 (2件):
資料名:
巻: 2017  号: IUS  ページ:発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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アンカーを通る弾性波の漏れは,一般的に微小共振器における支配的なQ制限機構として報告されている。は潜在的に高いQを提供する可能性があるので,バルクモードシリコンディスク共振器は,文献で最も魅力的な設計である中心から支持された。しかし,そのような支持方式を,製作複雑さに加え,のような側に支持された設計は,ある共鳴モードのための高Q値を達成するために調べた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
分類
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共振器  ,  光デバイス一般 

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