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J-GLOBAL ID：201702284364107607   整理番号：17A1374750

圧電性向上を目的としたBサイト添加元素を有するチタン酸バリウム薄膜創製手法の開発

著者 (4件)： 八十田穣 (東海大) ,  KUMAR Mani Ganesh (東海大) ,  上辻靖智 (大阪工大) ,  槌谷和義 (東海大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.G14  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 定量的な圧電薄膜機能向上手法の開発を目的として,チタン酸バリウムの圧電性向上を可能とする添加元素の選定を第一原理計算を用いて行った。選定された添加元素は結晶構造のBサイトを置換可能であり,置換による結晶異方性の増大によって圧電性が向上する。本報では種々の添加元素を任意の割合で含有するチタン酸バリウム薄膜をスパッタリング法より創製し,目的の組成および添加元素の占有状態が得られている事を確認する。(著者抄録)

シソーラス用語： *圧電気 ,  *チタン酸バリウム ,  薄膜 ,  製造 ,  *添加物効果 ,  結晶構造 ,  *ニオブ ,  *バナジウム ,  マグネトロンスパッタリング ,  X線回折分析
準シソーラス用語： 圧電薄膜 ,  薄膜作製

分類 (1件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M)

引用文献 (8件)：

• 神野 伊策,“PZT圧電薄膜とそのMEMS応用”,電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会,Vol. 2007, No. 35 (2007), pp. 23-27.
• Kratzer, M., Castaldi, L., Heinz, B., Kaden, D., Quenzer, H. D., Wagner, B., “In-situ large scale deposition of PZT films by RF magnetron sputtering”, 2011 International Symposium on and 2011 International Symposium on Piezoresponse Force Microscopy and Nanoscale Phenomena in Polar Materials, (2011).
• 富士セラミックス,“圧電セラミックスの材料特性”,p. 4.
• 八十田穣,上辻靖智,槌屋和義,“第一原理計算によるチタン酸バリウム B サイト添加元素の影響評価”,2015年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,(2015).
• 八十田穣,Mani Ganesh Kumar,上辻靖智,槌屋和義,“第一原理計算を用いた材料設計手法によるチタン酸バリウム薄膜の創製及び評価”,2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,(2016).

タイトルに関連する用語 (7件)： 圧電性 ,  添加元素 ,  チタン酸バリウム ,  薄膜 ,  創製 ,  手法 ,  開発