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J-GLOBAL ID：201702284369833304   整理番号：17A1003274

X線回折とレーザ音響波による粗面化チタン酸バリウムストロンチウム薄膜の弾性研究

Elasticity study of textured barium strontium titanate thin films by X-ray diffraction and laser acoustic waves

著者 (5件)： CHAABANI Anouar (Sfax Univ., Sfax, TUN) ,  NJEH Anouar (Sfax Univ., Sfax, TUN) ,  DONNER Wolfgang (Univ. Technol., Darmstadt, DEU) ,  KLEIN Andreas (Univ. Technol., Darmstadt, DEU) ,  GHOZLEN Mohamed Hedi Ben (Sfax Univ., Sfax, TUN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56  号： 5  ページ： 055501.1-055501.9  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pt(111)/TiO₂/SiO₂/Si(001)基板上に厚み300nmのBa_0.65Sr_0.35TiO₃(BST)薄膜を高周波マグネトロンスパッタリングにより堆積させた。異なる(111)および(001)繊維組織を有する二種類の薄膜を作製した。X線回折により表面構造を測定した。MTEX定量的テクスチャ解析ソフトウェアを用いて生の極点図データを処理し,極点をプロットし,粗面化処理した各種類の組織繊維に対する方位分布関数(ODF)から弾性定数およびヤング率を計算した。計算した弾性定数を二種類の多層BSTシステム中を伝搬する表面音響波(SAW)を理論的に調べた。常微分方程式(ODE)と剛性行列法(SMM)を適用して,理論分散曲線を作図した。レーザ音響波(LAW)技術を適用してBST膜中を伝搬する弾性表面波(SAW)を発生させ,再帰的プロセスから二種類の試料に対する有効Young率決定した。これらの方法を用いて,二種類のBST膜の弾性特性を抽出し比較して,方向依存性Young率に及ぼす表面構造の影響を定量化した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ストロンチウム化合物 ,  チタン酸塩 ,  バリウム化合物 ,  *誘電体薄膜 ,  弾性 ,  マグネトロンスパッタリング ,  X線回折 ,  *表面構造 ,  方位分布関数 ,  *弾性表面波 ,  画像分析 ,  弾性係数 ,  Young率 ,  X線構造解析 ,  レーザビーム
準シソーラス用語： チタン酸バリウムストロンチウム ,  テクスチャ解析

分類 (1件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T)

引用文献 (48件)：

• D. Y. Wang, C. L. Mak, K. H. Wong, H. L. W. Chan, and C. L. Choy, Ceram. Int. 30, 1745 (2004).
• O. Vendik and I. Vendik, J. Eur. Ceram. Soc. 27, 2949 (2007).
• C. S. Hwang, S. O. Park, H. J. Cho, C. S. Kang, H. K. Kang, S. I. Lee, and M. Y. Lee, Appl. Phys. Lett. 67, 2819 (1995).
• C. Fu, C. Yang, H. Chen, L. Hu, and Y. Wang, Mater. Lett. 59, 330 (2005).
• J. Zhang, J. Zhai, X. Chou, and X. Yao, Mater. Chem. Phys. 111, 409 (2008).

タイトルに関連する用語 (8件)： X線回折 ,  レーザ ,  音響波 ,  粗面 ,  チタン酸バリウムストロンチウム ,  薄膜 ,  弾性 ,  研究