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J-GLOBAL ID：201702284500981387   整理番号：17A1548722

円形SOI膜上に作製した非冷却La_0La0.67Sr_0 33MnO_3マイクロボロメータの熱機械的解析【Powered by NICT】

Thermo-mechanical analysis of uncooled La_0.67Sr_0.33MnO₃ microbolometer made on circular SOI membrane

著者 (9件)： Lalinsky T. (Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, Dubravscka cesta 9, Bratislava 84104, Slovakia) ,  Dzuba J. (Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, Dubravscka cesta 9, Bratislava 84104, Slovakia) ,  Vanko G. (Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, Dubravscka cesta 9, Bratislava 84104, Slovakia) ,  Kutis V. (Institute of Automotive Mechatronics, FEI STU, Ilkovicova 3, Bratislava 81219, Slovakia) ,  Paulech J. (Institute of Automotive Mechatronics, FEI STU, Ilkovicova 3, Bratislava 81219, Slovakia) ,  Galik G. (Institute of Automotive Mechatronics, FEI STU, Ilkovicova 3, Bratislava 81219, Slovakia) ,  Drzik M. (International Laser Centre, Ilkovicova 3, Bratislava 84104, Slovakia) ,  Chromik S. (Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, Dubravscka cesta 9, Bratislava 84104, Slovakia) ,  Lobotka P. (Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, Dubravscka cesta 9, Bratislava 84104, Slovakia)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 265  ページ： 321-328  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 活性面積(2500μmまでの直径を有する円形膜)の限界に円形SOI(Silicon On Insulator)膜のない非冷却アンテナ結合La_0 0.67Sr_0 0.33MnO_3マイクロボロメータの熱的および機械的分析について報告した。熱変換効率(熱抵抗値-R_th)を調べるためにどのように簡単な方法を紹介した。熱分析をANSYSモデル化とシミュレーションにより支持された。LSMOマイクロボロメータ(ボロメータ感度と時間応答)のR_thと熱時定数(τ)はSOI膜厚によって調整できることが分かった。R_th値の高い0.88msという低い188K/mWとτ値は全厚さ300nm(SiO_2~ 200nm,100nm)を有するSOI膜の熱シミュレーションから推定した。主な処理段階後に誘導される機械的応力変化の発生はLSMOベースのMEMSマイクロボロメータの機械的安定性を説明できることを見出し,評価した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 熱抵抗 ,  MEMS ,  膜厚 ,  *ボロメータ ,  アンテナ ,  モデリング
準シソーラス用語： 機械的安定性 ,  機械的ストレス ,  熱シミュレーション ,  熱時定数 ,  時間応答 ,  ANSYS ,  変換効率 ,  *マイクロボロメータ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： マイクロボロメータ ,  熱機械分析 ,  SOI膜 ,  残留応力

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 円形 ,  SOI ,  作製 ,  マイクロボロメータ ,  解析