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J-GLOBAL ID：201702284506311045   整理番号：17A0540804

保護熱板法による低熱抵抗薄膜の熱伝導率測定

著者 (2件)： 弗田昭博 (防衛大) ,  中村元 (防衛大)
資料名： 日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)
巻： 22nd  ページ： ROMBUNNO.GS0608  発行年： 2016年03月09日 
JST資料番号： L3954B  ISSN： 2424-2691  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,保護熱板法を応用した手法により,熱抵抗値が1×10^-5 m²・K/W程度の低熱抵抗薄膜の熱伝導率測定を試みた。試験体として用いた薄膜の厚さは13~35μmであった。この測定を実現するために,試験体に大きな熱流束を与える必要があり,冷却熱板の両側に水冷式の熱拡散板を取り付けた実験装置を製作した。これにより,試験体に(1~3)×10⁵W/m²程度の大熱流束を与えることが可能となった。その結果,熱抵抗値が1×10^-5 m²・K/W程度であっても,本手法による熱伝導率測定が可能であることが示唆された。(著者抄録)

シソーラス用語： *計測 ,  *薄膜 ,  熱流束 ,  熱拡散 ,  面積 ,  断熱材料 ,  *熱抵抗
準シソーラス用語： *測定法 ,  断熱材 ,  伝熱面積 ,  熱拡散法 ,  *熱伝導率測定

分類 (1件)： 熱伝導  (PA02020Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 熱板 ,  熱抵抗 ,  薄膜 ,  熱伝導率測定