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J-GLOBAL ID：201702284522562486   整理番号：17A1309766

複合的非理想測定条件が共存するときのvan der Pauw及び四点プローブ補正係数についての有限要素及び解析解

Finite element and analytical solutions for van der Pauw and four-point probe correction factors when multiple non-ideal measurement conditions coexist

著者 (6件)： Reveil Mardochee (Robert F. Smith School of Chemical and Biomolecular Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA) ,  Sorg Victoria C. (Robert F. Smith School of Chemical and Biomolecular Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA) ,  Cheng Emily R. (Robert F. Smith School of Chemical and Biomolecular Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA) ,  Ezzyat Taha (Robert F. Smith School of Chemical and Biomolecular Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA) ,  Clancy Paulette (Robert F. Smith School of Chemical and Biomolecular Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA) ,  Thompson Michael O. (Department of Materials Science and Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 88  号： 9  ページ： 094704-094704-12  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文は現実の四点プローブ及びvan der Pauw実験でしばしば出会う,広範な非理想条件の組合せ効果を説明する計算した補正係数の多量の収集を述べる。この文脈で「非理想条件」は,これら二つの技法の開発で行われた,試料とプローブの特性についての仮定から外れる条件を表す。我々は接触寸法と試料厚さのvan der Pauw測定への組合せ効果を調べる。四点プローブ配置で我々は試料の横寸法,プローブ配置及び試料厚さを変える組合せ効果を調べる。我々は四点プローブ実験での有限試料寸法と非対称プローブ配置を同時に説明する,補正係数を計算する解析式を導出する。我々は任意のプローブ配置を使う薄膜矩形試料での四点プローブ測定を通じて,解析解の実験的検証を与える。有限試料寸法効果は四点プローブ測定(特に狭い試料)で非常に重要であり,非対称プローブ配置はこの様な効果だけを悪化させる。多層試料での伝導の寄与もまた研究し,重要なことを見いだす;それ故に我々は必要な補正係数のマップを与える。この補正係数のライブラリは,広範な実験条件にわたる改善した確度と再現性で,抵抗率測定の設計を可能にするであろう。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *計測 ,  *電気的性質 ,  プローブ ,  係数 ,  補正 ,  有限要素法 ,  解析的解法 ,  試料 ,  サイズ効果
準シソーラス用語： van der Pauw法

分類 (1件)： 電磁気的量の計測一般  (AD07010R)

タイトルに関連する用語 (7件)： 測定条件 ,  共存 ,  VAN ,  プローブ ,  補正係数 ,  有限要素 ,  解析解