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J-GLOBAL ID：201702284794817358   整理番号：17A1349002

高分解能光学イメージングにおける使用のためのメタマテリアルレンズの高速位置決めのためのナノ位置決めMEMSステージ【Powered by NICT】

Nanopositioning MEMS stage for high speed positioning of metamaterials lenses for use in high resolution optical imaging

著者 (7件)： Herfst R.W. (TNO Technical Sciences, Optomechatronics Department, Stieltjesweg 1, 2628 CK Delft, The Netherlands) ,  Bijster R.J.F. (TNO Technical Sciences, Optomechatronics Department, Stieltjesweg 1, 2628 CK Delft, The Netherlands) ,  Dekker A. (TNO Technical Sciences, Optomechatronics Department, Stieltjesweg 1, 2628 CK Delft, The Netherlands) ,  Wei J. (Else Kooi Laboratory, Feldmannweg 17, 2628 CT Delft, The Netherlands) ,  van Zeijl H.W. (Else Kooi Laboratory, Feldmannweg 17, 2628 CT Delft, The Netherlands) ,  Kruidhof R. (TNO Technical Sciences, Optomechatronics Department, Stieltjesweg 1, 2628 CK Delft, The Netherlands) ,  Sadeghian H. (TNO Technical Sciences, Optomechatronics Department, Stieltjesweg 1, 2628 CK Delft, The Netherlands)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： AIM  ページ： 1310-1315  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高分解能及び高スループットイメージングは典型的には相互に排他的であった。は光の回折限界を超えた特徴を画像化する技術の広範囲であるが,それらはそれ自身の全ての利点と欠点を持っているが,それらは光学系と比較して,しばしば非常に遅かった。そのようなものとして,光学顕微鏡遺跡の性能を拡張する。高分解能光学的概念の例をメタ材料ナノアンテナ,超振動レンズとハイパーレンズである。これらの概念は,十nmで測定したレンズ試料分離で光学素子の高精度・高速位置決めを必要とする。非常に高い帯域幅を持つメタ材料光学レンズのサブnm位置決めできるMEMSナノ位置決めステージの設計とプロセスを提示した。完全に作製したデバイスの最初のバッチのレーザ振動計測定は,1次固有振動数は500±25kHz,FEM(有限要素法)シミュレーションによって得られた660kHz以下の試料では幾分であることを示した。スクイーズ膜減衰のために,品質因子が比較的低い(約2~2.5),デバイスは近接場光学イメージング顕微鏡で使用されている場合には高い位置決め帯域幅に到達するために有利である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *高速度 ,  光学顕微鏡 ,  *位置決め ,  固有振動数 ,  *レンズ ,  光回折 ,  *高分解能 ,  帯域幅 ,  *MEMS ,  有限要素法 ,  *画像処理 ,  シミュレーション ,  光学素子
準シソーラス用語： 高精度 ,  *メタマテリアル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高分解能 ,  光学 ,  イメージング ,  ナノ位置決め ,  MEMS ,  ステージ