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J-GLOBAL ID：201702284975542365   整理番号：17A1502847

変形可能な圧縮金型を用いたLa_0 8Sr_0 2CoO_3δスパッタリングターゲットの調製【Powered by NICT】

Preparation of La_0.8Sr_0.2CoO_3-δ sputtering targets using a deformable compaction die

著者 (4件)： Sari Dogancan (ENDAM, Center for Energy Storage Materials and Devices, Dept. of Metallurgical and Materials Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey) ,  Torunoglu Ziya Cagri (ENDAM, Center for Energy Storage Materials and Devices, Dept. of Metallurgical and Materials Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey) ,  Kalay Yunus Eren (ENDAM, Center for Energy Storage Materials and Devices, Dept. of Metallurgical and Materials Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey) ,  Ozturk Tayfur (ENDAM, Center for Energy Storage Materials and Devices, Dept. of Metallurgical and Materials Engineering, Middle East Technical University, Ankara, Turkey)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 17  ページ： 15185-15188  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スパッタリングターゲットの生産量としてのセラミック加工における慣習的な実践からの製造はしばしば非常に低い。密度と標的の大きさの両方がプレス中の制御されるため,これに関連して,ホットプレスの使用はスパッタターゲットの作製を容易にした。ホットプレスの不在においては,しかし,製造は広範な予備的研究を必要とするが,限られた大量生産のために正当化することは困難である。本研究では,通常の剛性金型の代わりに著者らは,作製手順を単純化した変形可能な金型の使用を提案した。このアプローチでは,ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)環は粉末を充填した圧縮金型,均一密度にタップとして使用されている。金型を平行平板間における変形した粉末を圧密した。法はプレスは,リングの内径にほとんど変化をもたらさないという事実に依存している。この手法は,2年の作製を説明した。La_0 8Sr_0 2CoO_3δ(LSC 113)ターゲット変形可能な金型は,小さな直径のPTFE環に関する予備的実験により寸法であった。0.95以上の焼結密度のスパッタターゲットとスパッタ銃の許容範囲内で寸法を作製することに成功した。アプローチは,不規則な形状の平板製品に適用できる可能性があることを提案し,タップ付き粒状媒質における高い摩擦は,側方流動を困難にしている,主に軸方向に圧縮を閉じ込めた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *プレス ,  剛性 ,  軸方向 ,  圧密 ,  ホットプレス ,  許容範囲 ,  簡素化 ,  生産量 ,  予備調査 ,  粉体 ,  セラミック ,  ポリテトラフルオロエチレン ,  大量生産
準シソーラス用語： 側方流動 ,  焼結密度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： スパッタターゲット ,  締固め ,  変形可能な締固めは死ぬ ,  グリーン密度 ,  焼結密度 ,  Shrinkage

分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 金型 ,  スパッタリングターゲット ,  調製