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J-GLOBAL ID：201702285010584902   整理番号：17A0391104

Printable&Flexible Electronics入門 第34回 RTR生産方式について その8

著者 (1件)： 沼倉研史 (DKNリサーチ)
資料名： コンバーテック  (Convertech)
巻： 45  号： 3  ページ： 101-104  発行年： 2017年03月15日 
JST資料番号： Y0873A  ISSN： 0911-2316  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フレキシブル・エレクトロニクスの製造工程において,真空を使うプロセスのRoll to Roll(RTR)生産方式の概要および課題について説明する。1)RTR生産システムにおいて,工程は連続プロセスとステッププロセスに分けられ,連続プロセスとされる真空プロセスの特殊性について述べる。2)真空容器とRTRについて,巻き出し巻き取りを真空容器内に収めたシステム(ロール内置き方式),巻き出し巻き取りを真空容器の外に配置したRTR装置に基づいて述べる。3)真空ラミネーションについて,低真空の場合,真空度を高める必要がある場合に基づいて述べる。4)真空スクリーン印刷におけるRTR化について述べる。5)PVD(Physical Vapor Deposition)プロセスのRTR化について,真空蒸着,スパッタリングプロセスに基づいて述べる。6)CVD(Chemical Vapor Deposition)プロセスのRTR化について述べる。

シソーラス用語： *生産方式 ,  *固体素子 ,  電子技術 ,  真空容器 ,  真空技術 ,  真空蒸着 ,  化学蒸着 ,  スクリーン印刷 ,  積層材料 ,  スパッタ蒸着
準シソーラス用語： *RTR ,  フレキシブルエレクトロニクス ,  *電子デバイス

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  加工工程とその装置一般  (YH04010G)

引用文献 (6件)：

• 沼倉研史:初手から学ぶプリンタブル・エレクトロニクス,コンバーテックセミナー
• DKNリサーチホームページ http://www.dknresearchllc.com
• 沼倉研史:よくわかるプリンタプル・エレクトロニクスのできるまで,日刊工業新聞社,2009年1月
• 沼倉研史:よくわかるフレキシブル・エレクトロニクスのできるまで,日刊工業新聞社,2010年12月
• 沼倉研史:新フレキシブル・エレクトロニクス・徹底解説,電子ジャーナル,2015年3月

タイトルに関連する用語 (1件)： 生産方式