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J-GLOBAL ID：201702285125102947   整理番号：17A1386160

垂直に整列したカーボンナノチューブ膜のその場低温合成のためのPECVDを用いたASP(解集合プログラミング)を組み合わせた新しいハイブリッド法【Powered by NICT】

A novel hybrid method combining ASP with PECVD for in-situ low temperature synthesis of vertically aligned carbon nanotube films

著者 (6件)： Ji Xiaochao (School of Metallurgy and Materials, The University of Birmingham, Birmingham B15 2TT, UK) ,  Ji Xiaochao (National Key Laboratory for Remanufacturing, AAFE, Beijing 100072, China) ,  Zhang Wei (National Key Laboratory for Remanufacturing, AAFE, Beijing 100072, China) ,  Li Xiaoying (School of Metallurgy and Materials, The University of Birmingham, Birmingham B15 2TT, UK) ,  Yu Helong (National Key Laboratory for Remanufacturing, AAFE, Beijing 100072, China) ,  Dong Hanshan (School of Metallurgy and Materials, The University of Birmingham, Birmingham B15 2TT, UK)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 77  ページ： 16-24  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,垂直に配列したカーボンナノチューブ(VACNT)膜を成長させる費用効果へのその場低温法は先進的アクティブスクリーンプラズマ(ASP)法を組合せたプラズマ増強化学蒸着(PECVD)により開発した。二重上蓋と316ステンレス鋼製円筒の新能動スクリーンをPECVD装置内の触媒膜のその場低コスト高効率調製のために設計した,VACNT膜をその後低温(≦500°C)での触媒膜から成長させた。堆積した触媒膜とVACNT膜はSEM,AFM,XRD,RamanおよびTEM/EDSによって特性化した。結果は,触媒膜は約50nmのサイズを有するステンレス鋼ナノ粒子から成ることを示した。CNTの成長は,PECVD温度に関係し,CNTの密度は触媒膜の状態によって決定される。CNTはその先端でのナノ粒子である多層。その場低温合成の背後にあるメカニズムは触媒膜のプラズマ物理,成長パラメータと物理的状態に基づいて議論した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *低温 ,  キャラクタリゼーション ,  ステンレス鋼 ,  *カーボンナノチューブ ,  ナノ粒子 ,  円筒 ,  プラズマ ,  多層 ,  スクリーン
準シソーラス用語： 高効率 ,  触媒膜 ,  費用対効果 ,  *ハイブリッド法 ,  *低温合成 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： カーボンナノチューブ ,  その場 ,  触媒膜 ,  低温合成 ,  プラズマ ,  PECVD ,  活性スクリーン

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  分子化合物  (CE02000C)

タイトルに関連する用語 (7件)： 整列 ,  カーボンナノチューブ ,  低温合成 ,  PECVD ,  ASP ,  解集合プログラミング ,  ハイブリッド法