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J-GLOBAL ID：201702285262978949   整理番号：17A1792600

開放型イオン源とマイクロガスポンプを統合したマイクロ針-柱放電構造チップの設計と実験分析【JST・京大機械翻訳】

Design and experiment analysis for micro needle-cylinder discharge chip integrated by open-type ion source and micro pump

著者 (8件)： Li Hua (桂林電子科技大学生命与環境科学学院,广西 桂林,541004;广西信息科学実験中心,广西 桂林,541004) ,  Guo Chaoqun (桂林電子科技大学生命与環境科学学院,广西 桂林,541004) ,  Jiang Linxiu (桂林電子科技大学生命与環境科学学院,广西 桂林,541004) ,  Jiang Yongrong (桂林電子科技大学生命与環境科学学院,广西 桂林,541004) ,  Zhu Jianming (桂林電子科技大学生命与環境科学学院,广西 桂林,541004) ,  Xiao Wenxiang (桂林電子科技大学生命与環境科学学院,广西 桂林,541004) ,  Wei Wanling (桂林電子科技大学生命与環境科学学院,广西 桂林,541004) ,  Chen Zhencheng (桂林電子科技大学生命与環境科学学院,广西 桂林,541004)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 25  号： 6  ページ： 1567-1576  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： LIGA(Lithographie,Galvanoformung,Abformung)技術を用いて,マイクロ針-柱放電構造チップを設計し,開放型イオン源とマイクロガスポンプのシステム統合を実現することができた。このマイクロ放電構造は電気メッキ銅で加工された針電極、上円柱電極と下円柱電極からなり、針-柱間隔は1mm、2mmの二種類の規格がある。室温、大気圧環境、外部の気流がない条件下で、針-柱電極上に負の直流高圧を加えることによって、安定なガス放電が発生できる。風速度計testo405-V1を用いて、チップ気体放電によるイオン風速度を測定し、針-柱間隔が2mmの時に発生したイオン風速度が最大で、0.79m/sに達することが分かった。針-柱間隔2mm規格のマイクロチップに対して酢酸注入イオン化実験を行い、針-柱間に安定なコロナ放電が発生した後、チップ出口に位置する脱イオン水により湿ったPH試験紙が赤くなることを発見した。弱い電流検出システムを用いてイオン化したイオンを収集し、放電電圧が-3300Vの時に、微弱電流収集システムによって検出された電流信号は120pAに達した。LTQXLイオントラップ質量分析計を用いて、イオン化アセトン、無水エタノールと酢酸エチルのイオン生成物に対して測定を行い、得られた主な物質はプロトン化単量体イオンと二量体イオンである。放電によるイオン風速度及び酢酸の注入及び電離実験により、LIGAに基づくマイクロ針-柱構造チップは大気圧環境下での開いたイオン源とマイクロガスポンプの二重機能を実現できることが分かった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 銅 ,  *放電 ,  イオン化 ,  円柱 ,  気圧 ,  風速 ,  *イオン源 ,  *イオン ,  コロナ放電 ,  気体放電 ,  高圧 ,  直流 ,  脂肪族ケトン ,  脂肪酸 ,  薬物
準シソーラス用語： イオン風 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： マイクロ放電構造 ,  コロナ放電 ,  イオン源 ,  ミニ空気ポンプ

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

物質索引 (2件)： アセトン ,  酢酸

タイトルに関連する用語 (9件)： 開放型 ,  イオン源 ,  統合 ,  マイクロ針 ,  柱 ,  放電 ,  設計 ,  実験 ,  分析