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J-GLOBAL ID：201702285401940947   整理番号：17A0502826

五酸化バナジウムの構造および光スイッチング特性に及ぼす膜厚の影響

Influence of film thickness on structural and optical-switching properties of vanadium pentoxide films

著者 (3件)： ZHANG S. B. (Nanjing Univ. Aeronautics and Astronautics, Nanjing, CHN) ,  ZUO D. W. (Nanjing Univ. Aeronautics and Astronautics, Nanjing, CHN) ,  LU W. Z. (Nanjing Univ. Aeronautics and Astronautics, Nanjing, CHN)
資料名： Surface Engineering  (Surface Engineering)
巻： 33  号： 3/4  ページ： 292-298  発行年： 2017年04月 
JST資料番号： A0614C  ISSN： 0267-0844  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 五酸化バナジウム(V₂O₅)薄膜はスイッチング素子,スマートウィンドウズなどへの応用が探索されている。本研究では,RFマグネトロンスパッタリングによりサファイア基板上にV₂O₅薄膜を蒸着し,微細組織および光スウィッチング特性に及ぼす膜厚の影響について系統的に検討した。全ての蒸着まま薄膜は同様なX線回折パターンを示し,(001)方向に優先配向した多結晶であった。しかし,二乗平均平方根(RMS)粗さおよび平均粒サイズは膜厚の増加と共に低下した。膜厚の低下に伴い,閉鎖時間は最初は低下し,その後,350nmのターニングポイントから増加した。最高値および最低値はそれぞれ600nmにおいて2.7msおよび350nmにおいて1.7msであった。

シソーラス用語： 薄膜成長 ,  *酸化バナジウム ,  *光スイッチ ,  光交換 ,  スイッチング素子 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  基板 ,  *微細構造 ,  結晶方位 ,  優先配向 ,  光学的性質 ,  *膜厚 ,  表面粗さ ,  結晶粒度 ,  X線回折分析 ,  顕微鏡観察
準シソーラス用語： 五酸化バナジウム ,  光スイッチング ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  サファイア基板 ,  微細組織 ,  結晶配向 ,  膜厚依存性 ,  スイッチング時間 ,  スイッチング速度 ,  スイッチング特性 ,  原子間力顕微鏡法

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (3件)： 五酸化バナジウム ,  スイッチング特性 ,  膜厚