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J-GLOBAL ID：201702285552679606   整理番号：17A1732256

packagelessセンサに使用する多層構造のための材料の選択【Powered by NICT】

Selection of materials for multilayered structures to be used in packageless sensors

著者 (1件)： Naumenko Natalya (National University of Science and Technology “MISIS” Moscow, Russia)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IUS  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 音響波特性は,Pt電極を用いたAlN/ZnO/ダイヤモンドとAl_2O_3/GaN/サファイアで調べ,数値的に比較した。これらの構造はpackagelessセンサへの応用のための候補として既に報告されている。二高速材料間に挟まれた低速度導波圧電層を含んでいる。複合材料,それらの対称性と矢状面におけるバルク音響波速度の間の比の異方性は有用なモードの高い結合と寄生モードの抑制を可能にする材料の最適な組み合わせの選択基準を見出すために比較した。音場は報告された構造とSi_3N_4/GaN/サファイアの可視化した,代替構造はpackagelessセンサに用いられる,音場と波動特性の間の相関を理解するために示唆した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 圧電気 ,  複合材料 ,  ダイヤモンド ,  可視化 ,  *多層構造 ,  音波 ,  *センサ ,  異方性 ,  酸化亜鉛 ,  サファイア ,  窒化ガリウム ,  音場 ,  窒化アルミニウム ,  対称性
準シソーラス用語： バルク音響波 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 平板  (HD03060Z) ,  破壊力学一般  (HC04010A)

タイトルに関連する用語 (1件)： 多層構造