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J-GLOBAL ID：201702285688249814   整理番号：17A1513655

マイクロスケールの積層誘電エラストマアクチュエータの製作に関する最適化検討

Optimization study for fabrication of micro-scale stacked dielectric elastomer actuators

著者 (3件)： CORBACI Mert (Rochester Inst. Technol., New York, USA) ,  LAMKIN-KENNARD Kathleen (Rochester Inst. Technol., New York, USA) ,  WALTER Wayne (Rochester Inst. Technol., New York, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10163  ページ： 101631I.1-101631I.6  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロスケールの誘電エラストマアクチュエータの製造プロセスは,マイクロロボット,マイクロシステムなどを含む多くの分野で便益を与えることができた。この製造プロセスの信頼性と効率を改善するため,異なるパラメータと製造ステップを本研究で調整した。誘電材料の弾性係数の減少は製造ステップの次元を変えそして犠牲層を加えることにより克服できるいくつかの課題を導入した。水融解犠牲層はまた鋳型からデバイスを剥がすのを助け,製造プロセスを改善し,そしてそれを小規模製造により適させるようにした。しかしながら,焼き付け温度および時間は犠牲層の均一性そして完全性に大きく影響することを観測した。それ故,犠牲層の焼き付けパラメータおよび厚さはさらに検討する必要があった。

シソーラス用語： 長さ ,  *アクチュエータ ,  *最適化 ,  導電性高分子 ,  マイクロアクチュエータ ,  マイクロロボット ,  MEMS ,  生産工程 ,  誘電材料 ,  弾性係数 ,  層 ,  鋳型【鋳造】
準シソーラス用語： *マイクロスケール ,  犠牲層 ,  電気活性高分子 ,  *誘電エラストマアクチュエータ

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  その他のオペレーションズリサーチの手法  (KA03070E)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロスケール ,  誘電エラストマアクチュエータ ,  製作 ,  最適化