文献

J-GLOBAL ID：201702285711551781   整理番号：17A1090482

エネルギーフィルタリングSEM技術による高精度CD測定

High-precision CD measurement using energy-filtering SEM techniques

著者 (5件)： BIZEN Daisuke (Hitachi, Ltd., Kokubunji-shi, JPN) ,  SAKAKIBARA Makoto (Hitachi, Ltd., Kokubunji-shi, JPN) ,  SUZUKI Makoto (Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN) ,  MOMONOI Yoshinori (Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN) ,  KAWANO Hajime (Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10145  号： Pt.2  ページ： 101451K.1-101451K.7  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 遅延場エネルギーフィルタ(EF)を備えたCG6300 CD-SEMを用いて得た電圧コントラスト(VC)画像を用いて,高アスペクト比(HAR)構造の底面を測定した。画像はHAR穴パターンを反映し,実験結果は帯電効果を含めシミュレーション結果と定量的に一致した。従来のEFを用いて得られたVC画像は,ウエハ電位の変動に敏感であった。VC画像を用いる場合,CD-SEM計測は正確なEF電圧制御を必要とするので,各測定点で用いるEF電圧補正法を開発した。その結果,ウエハの電位変動に無関係に,新たに開発したEFを用いて底面エッジ測定を実現した。開発した手法はVC画像を用いたCD-SEM計測に有効である。

シソーラス用語： *フィルタ ,  *走査電子顕微鏡 ,  *コントラスト ,  画像 ,  アスペクト比 ,  計算機シミュレーション
準シソーラス用語： *CD-SEM【顕微鏡】 ,  CD計測 ,  *エネルギーフィルタ ,  コントラスト画像 ,  高アスペクト比 ,  *電圧コントラスト ,  電子顕微鏡画像

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (4件)： エネルギー ,  フィルタリング ,  SEM ,  Cd