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J-GLOBAL ID：201702285950652827   整理番号：17A0855037

反応性スパッタリングにより蒸着したナノ複合材料n型Cr_2O_3/Cr薄膜の熱電特性【Powered by NICT】

Thermoelectric properties of nanocomposite n-type Cr₂O₃/Cr thin films deposited by a reactive sputtering

著者 (6件)： Jella Venkatraju (Department of Materials Science and Engineering, Chungnam National University, Daeduk Science Town, 305-764, Daejeon, Republic of Korea) ,  Kang So-Hyun (Department of Materials Science and Engineering, Chungnam National University, Daeduk Science Town, 305-764, Daejeon, Republic of Korea) ,  Pammi S.V.N. (Department of Materials Science and Engineering, Chungnam National University, Daeduk Science Town, 305-764, Daejeon, Republic of Korea) ,  Eom Ji-Ho (Department of Materials Science and Engineering, Chungnam National University, Daeduk Science Town, 305-764, Daejeon, Republic of Korea) ,  Jeong Jong-Ryul (Department of Materials Science and Engineering, Chungnam National University, Daeduk Science Town, 305-764, Daejeon, Republic of Korea) ,  Yoon Soon-Gil (Department of Materials Science and Engineering, Chungnam National University, Daeduk Science Town, 305-764, Daejeon, Republic of Korea)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 140  ページ： 71-75  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Cr_2O_3/Cr薄膜はCr金属ターゲットを用いて室温でスパッタリング法によりガラス基板上に堆積した。堆積した膜は空気中,500~700°Cの範囲の種々の温度でアニールした。アニールしたCr_2O_3/Crナノ複合材料の構造的,化学的,電気的および熱電特性を評価した。500~°Cの温度で測定したときCr_2O_3/Crは700°Cのアニーリング温度で0.44×10~ 4 7W/K~2mの最大熱電能因子を示した。アニールしたナノ複合材料膜はn型半導体を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *スパッタリング ,  *ナノ複合材料 ,  *反応性スパッタリング ,  半導体 ,  *クロム
準シソーラス用語： 熱電能 ,  アニーリング温度 ,  ガラス基板 ,  *熱電特性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： N型Cr_2O_3/Cr薄膜 ,  反応性スパッタリング ,  アニーリング温度 ,  熱電特性

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 反応性スパッタリング ,  蒸着 ,  ナノ複合材料 ,  Cr ,  薄膜 ,  熱電特性