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J-GLOBAL ID：201702286052874028   整理番号：17A1157641

走査型電子顕微鏡(SEM)を用いたガラス基板のスクライブ加工プロセス観察

著者 (6件)： 齊藤雅裕 (千葉大 大学院融合理工学府) ,  松本祐一郎 (千葉大 大学院融合理工学府) ,  松坂壮太 (千葉大 大学院融合理工学府) ,  比田井洋史 (千葉大 大学院融合理工学府) ,  千葉明 (千葉大 大学院融合理工学府) ,  森田昇 (千葉大 大学院融合理工学府)
資料名： 砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (ABTEC (CD-ROM))
巻： 2017  ページ： ROMBUNNO.C30  発行年： 2017年 
JST資料番号： L0894B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *基板 ,  電気装置部品 ,  *ガラス ,  *切断 ,  走査電子顕微鏡 ,  亀裂伝搬 ,  光学顕微鏡 ,  顕微鏡観察 ,  加工条件 ,  フラットパネルディスプレイ ,  耐熱性 ,  *ガラス基板 ,  *アルカリフリーガラス ,  レーザ顕微鏡 ,  動作実験
準シソーラス用語： *割断法 ,  *加工プロセス ,  動作試験 ,  スクライブ装置

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ガラスの製造  (YC02020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 走査型電子顕微鏡 ,  SEM ,  ガラス基板 ,  スクライブ ,  加工プロセス ,  観察