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J-GLOBAL ID：201702286116703617   整理番号：17A1977896

三角形増幅器機構に基づく新しい2D圧電ナノ位置決めステージ【JST・京大機械翻訳】

資料名： Transactions of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics  (Transactions of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics)
巻： 34  号： 1  ページ： 1-7  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0400A  ISSN： 1005-1120  CODEN： TNUAFX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 航空機と宇宙航空機分野における圧電アクチュエータの動的性能と負荷特性に関する要求を満たすために,三角形増幅器機構を利用する新しい2D圧電ナノ位置決めステージを提案した。ステージは,4つの圧電スタックで構成されるXとY方向の両方において,圧電菱形ユニットによって駆動される。理論的静的モデルは,プラットフォームの出力力,変位,静的剛性および構造パラメータの間の関係を開発した。プロトタイプの実験結果は,XとY方向における出力性能が類似していて,それらの両方が理論値から8%以内の偏差の範囲内にあることを示した。ステージのストロークは,XとY方向においてそれぞれ41.6μmと42.9μmに達し,入力正弦波電圧10Hzの振幅に直接比例することを明らかにした。さらに,ナノ位置決めステージは,二方向対称出力特性とミリ秒の始動特性を特徴とし,その最小出力変位ステップは50nmである。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 正弦波 ,  航空機 ,  プロトタイプ ,  負荷特性 ,  *圧電気 ,  *二次元 ,  剛性 ,  宇宙航空機 ,  電圧 ,  構造パラメータ ,  対称性 ,  *増幅器
準シソーラス用語： 出力特性 ,  圧電アクチュエータ ,  *ナノポジショニング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 三角形 ,  増幅器 ,  2D ,  圧電 ,  ナノ位置決め ,  ステージ