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J-GLOBAL ID：201702286366954633   整理番号：17A1660463

容易なハイブリッドCVD法によるミラー状超ナノ結晶ダイヤモンド(UNCD)膜の成長【JST・京大機械翻訳】

資料名： Dengliziti Kexue he Jishu(Yingwenban)  (Dengliziti Kexue he Jishu(Yingwenban))
巻： 19  号： 5  ページ： 74-79  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2608A  ISSN： 1009-0630  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究において,容易なハイブリッドCVD法による鏡面状超ナノ結晶ダイヤモンド(UNCD)膜の成長を提示した。UNCD膜の核形成と堆積を,シリコン基板上のマイクロ波プラズマCVD(MPCVD)と直流グロー放電CVD(DC GD CVD)でそれぞれ行った。プラズマ前処理後,非常に高い核形成密度(約1×1011核cm2)が得られた。さらに,φ50mmの大面積ミラー状UNCD膜をDC GD CVDにより合成した。UNCD膜の厚さと粒径は,それぞれ24μmと7.1nmであった。さらに,UNCD膜の堆積機構について議論した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プラズマ ,  粒径 ,  *化学蒸着 ,  直流 ,  核形成 ,  グロー放電 ,  前処理
準シソーラス用語： 大面積 ,  マイクロ波プラズマCVD ,  シリコンウエハ ,  鏡面 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： CVD法 ,  ミラー ,  ナノ結晶ダイヤモンド ,  成長