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J-GLOBAL ID：201702286570633503   整理番号：17A1667197

アーク源堆積酸化タンタル薄膜の特性に及ぼす熱処理の影響に関する研究【JST・京大機械翻訳】

著者 (1件)： Wang Kun (西安工業大学,陜西 西安,710021)
資料名： Heilongjiang Keji Xinxi  (Heilongjiang Keji Xinxi)
号： 8  ページ： 70  発行年： 2017年 
JST資料番号： C3241A  ISSN： 1673-1328  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： アーク源技術を用いて酸化タンタル薄膜を調製し、酸素雰囲気下で熱処理を行い、熱処理前後のサンプル特性の変化を比較した。結果によると、500°C熱処理後、膜層の化学量論比が変化し、酸素元素が増加し、透過スペクトルがわずかに変化し、膜の屈折率が異なる変化を示し、表面粗さがわずかに増加し、いずれも熱処理プロセス中の膜内部粒子の移動と表面酸素元素の注入によるものであった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *酸化タンタル ,  *熱処理 ,  *アーク放電 ,  化学量論 ,  酸素 ,  *薄膜 ,  屈折率
準シソーラス用語： 透過スペクトル ,  酸素雰囲気 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： アーク ,  堆積 ,  酸化タンタル ,  薄膜 ,  熱処理 ,  研究