文献

J-GLOBAL ID：201702286571110905   整理番号：17A0459571

有機薄膜堆積装置のマルチボート化

Multi-Boat Configuration of Organic Thin Film Deposition Apparatus

著者 (2件)： 中川卓也 (明石工高専) ,  大向雅人 (明石工高専)
資料名： 明石工業高等専門学校研究紀要(Web)  (Memoirs of National Institute of Technology, Akashi College, Japan (Web))
号： 59  ページ： 32-37 (WEB ONLY)  発行年： 2017年02月28日 
JST資料番号： U0144A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 有機薄膜は,多層構造として利用されることが多い。このため,同じ真空条件において,連続して有機薄膜を成長することが重要である。有機薄膜堆積装置において,有機薄膜の連続成長を実現するために,有機薄膜堆積装置のマルチボート化について検討した。チャンバー内の試料台,電極棒,フランジなどの配置を調整して,真空蒸着用の蒸着装置を改良した。複数の電極棒の間にボートを設置した。抵抗加熱法を利用した真空蒸着での切り替えは,シャッタを回転することで行った。これにより,1回の実験でも,最大で4種類の有機薄膜を成長できるようになった。

シソーラス用語： *有機材料 ,  *薄膜成長 ,  真空蒸着 ,  *蒸着装置 ,  シャッタ ,  真空容器 ,  フランジ ,  多層構造 ,  試料台 ,  抵抗加熱
準シソーラス用語： 電極棒 ,  *有機薄膜

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 有機薄膜 ,  堆積 ,  マルチ ,  ボート