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J-GLOBAL ID：201702286642207659   整理番号：17A1381687

マイクロスケール膨出試験のための光学顕微鏡下での新規の3D変形測定法【Powered by NICT】

A novel 3D deformation measurement method under optical microscope for micro-scale bulge-test

著者 (2件)： Wu Dan (School of Mechanical Engineering and Mechanics, Ningbo University, Ningbo 315211, China) ,  Xie Huimin (Key Laboratory of Applied Mechanics (AML), Department of Engineering Mechanics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 98  ページ： 190-197  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学顕微鏡と組み合わせたマイクロスケールの3D変形測定法を提案した。法は回折格子と位相シフトアルゴリズムに基づいている。二対称角度から変形前後の格子像を記録し,格子パターンの位相を計算することにより,試験片の3D変形場は,格子パターンの位相から抽出できる。提案した方法は,ミクロスケールのバルジ試験に適用した。超深度顕微鏡と一致したミクロスケール熱的/機械的結合バルジ試験装置を利用した。膜上に作製した回折格子を用いて,バルジ膜の変形形態を確実に測定した。実験結果は,提案した方法と利用バルジ試験装置は,マイクロスケールでの膜の熱的/機械的性質を特性化することに成功しできることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *光学顕微鏡 ,  キャラクタリゼーション ,  アルゴリズム ,  *三次元 ,  対称性 ,  *顕微鏡 ,  回折格子 ,  格子像 ,  機械的性質 ,  位相シフト ,  位相
準シソーラス用語： バルジ試験 ,  *バルジ ,  *マイクロスケール , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： マイクロスケール ,  3D変形測定 ,  バルジ試験 ,  格子 ,  光学顕微鏡

分類 (4件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光デバイス一般  (BD06010L) ,  その他の光学的測定法とその装置  (BD07080R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロスケール ,  光学顕微鏡 ,  3D ,  測定法