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J-GLOBAL ID：201702286694611249   整理番号：17A1307645

火炎製造耐化学性ガス検知膜堆積のその場監視

In Situ Monitoring of the Deposition of Flame-Made Chemoresistive Gas-Sensing Films

著者 (3件)： BLATTMANN Christoph O. (ETH Zuerich, Zuerich, CHE) ,  GUENTNER Andreas T. (ETH Zuerich, Zuerich, CHE) ,  PRATSINIS Sotiris E. (ETH Zuerich, Zuerich, CHE)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9  号： 28  ページ： 23926-23933  発行年： 2017年07月19日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロニクス回路上の火炎堆積半導体ナノ材料は耐化学性ガスセンサとして優れた性能を示す。ガスセンサ用の半導体ナノ粒子ネットワーク膜成長中の膜抵抗をその場で測定した。ネットワーク形成時の膜抵抗は漸近値まで大幅に低下し,これはナノ粒子構築ブロックの厚みや大きさよりも,膜の構造や形態に大きく依存した。前駆体溶液の濃度を変えることで,様々な形態のSbドープSnO₂検知膜の火炎堆積が可能で,各々が特徴的な現場抵抗パターンを示した。前駆体濃度が低い(1mM)と,長時間(最長6分間)の堆積により太い(最大25nm)柱状構造を有する薄膜(約0.16μm)が得られた。

シソーラス用語： 耐化学性 ,  *ガスセンサ ,  マイクロエレクトロニクス ,  電子回路 ,  ナノ粒子 ,  半導体材料 ,  半導体薄膜 ,  *火炎溶射 ,  *熱分解 ,  薄膜成長 ,  監視 ,  電子顕微鏡観察 ,  電気抵抗率
準シソーラス用語： その場監視 ,  *火炎溶射熱分解

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 火炎 ,  耐化学性 ,  ガス検知 ,  堆積