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J-GLOBAL ID：201702286820710937   整理番号：17A0733621

HFO_XN_Y薄膜の構造と機械的性質に及ぼす酸素分圧の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Effect of Oxygen Partial Pressure on the Structure and Mechanical Properties of HfO_xN_y Thin Films

著者 (6件)： LIU Wei (Beijing Guojing Infrared Optical Technology Co., Ltd, General Research Institute for Nonferrous Metals) ,  SU Xiao-ping (Beijing Guojing Infrared Optical Technology Co., Ltd, General Research Institute for Nonferrous Metals) ,  ZHANG Shu-yu (Beijing Guojing Infrared Optical Technology Co., Ltd, General Research Institute for Nonferrous Metals) ,  YAN Lan-qin (Beijing Guojing Infrared Optical Technology Co., Ltd, General Research Institute for Nonferrous Metals) ,  WANG Hong-bin (Beijing Guojing Infrared Optical Technology Co., Ltd, General Research Institute for Nonferrous Metals) ,  LIU Jia-he (Beijing Guojing Infrared Optical Technology Co., Ltd, General Research Institute for Nonferrous Metals)
資料名： Rengong Jingti Xuebao  (Rengong Jingti Xuebao)
巻： 38  号： 1  ページ： 16-20  発行年： 2009年 
JST資料番号： W0398A  ISSN： 1000-985X  CODEN： RJXUEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： RFマグネトロンスパッタリング法を用いて,酸素分圧,窒素雰囲気,アルゴン雰囲気の混合雰囲気中で,DanYang化Ha薄膜を調製し,それらを,多孔性硫化亜鉛材料として用いた。HFO_XN_Y薄膜の結晶構造,微細構造,および機械的性質を,X線回折,走査電子顕微鏡,およびナノによって研究した。結果は以下を示す。HFO_XN_Y薄膜は,酸素分圧が0.05~0.30の範囲で多結晶構造であるが,酸素分圧の低下とともに,HFO_XN_Y薄膜の堆積速度は増加し,膜の結晶構造は単斜Yang化からハフニウムに変化した。異なる酸素分圧で堆積したHFO_XN_Y薄膜は,膜構造の典型的柱状構造に適合し,酸素分圧が低い場合には,表面粗さが大きくなった。異なる酸素分圧で堆積したHFO_XN_Y薄膜の硬度と弾性係数は基板の硫化亜鉛の硬度と弾性率よりも大きく、酸素分圧が0.15の時、最大硬度と弾性率はそれぞれ11.6GPAと160GPAであった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  膜構造 ,  硫化亜鉛 ,  *薄膜 ,  弾性係数 ,  走査電子顕微鏡 ,  結晶構造 ,  *機械的性質 ,  多結晶 ,  表面粗さ ,  微細構造 ,  堆積速度 ,  硬度
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング ,  *酸素分圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： HfO_xN_y thin films ,  RF reactive magnetron sputtering ,  crystalline structure ,  microstructure ,  mechanical properties

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 薄膜 ,  機械的性質 ,  酸素分圧 ,  研究