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J-GLOBAL ID：201702287311997725   整理番号：17A0053360

シリコン・オン・インシュレータ,アモルファスシリコンおよび窒化ケイ素の3つの材料プラットフォーム上の光導波路

Optical Waveguides on Three Material Platforms of Silicon-on-Insulator, Amorphous Silicon and Silicon Nitride

著者 (9件)： Fan Guofang (Technical Institute of Physics and ChemistryKey Laboratory of Photochemical Conversion and Optoelectronic Materials, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Orobtchouk Regis (Institut des Nanotechnologies de Lyon, INSA-Lyon, Universite de Lyon, Villeurbanne, France) ,  Han Bing (Shenyang Ruigang Science & Technology Co. Ltd., Shenyang, China) ,  Li Yuan (National Center of Measurement and Testing for East ChinaShanghai Institute of Measurement and Testing Technology, National Center of Testing Technology, Shanghai, China) ,  Hu Chunguang (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments, Tianjin University, Tianjin, China) ,  Lei Lihua (National Center of Measurement and Testing for East ChinaShanghai Institute of Measurement and Testing Technology, National Center of Testing Technology, Shanghai, China) ,  Li Hongyu (College of Mechanical and Electronic Engineering, Shandong University of Science and Technology, Qingdao, China) ,  Xu Ling (School of Economics and Management, China University of Petroleum, Qingdao, China) ,  Wang Qi (Technical Institute of Physics and ChemistryKey Laboratory of Photochemical Conversion and Optoelectronic Materials, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China)
資料名： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics  (IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics)
巻： 22  号： 6  ページ： ROMBUNNO.4402607.1-7  発行年： 2016年 
JST資料番号： W0734A  ISSN： 1077-260X  CODEN： IJSQEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン・オン・インシュレータ(SOI),アモルファスシリコン(a-Si:H)および窒化ケイ素の3つの材料プラットフォーム上の光導波路を,CMOS技術と互換性のある光コンパクトリンクの実現にむけて解析した。3つの材料特性を示した。3つの潜在的に可能な材料プラットフォーム上に比較のために一緒に配置した光学部品,光リンクのための直線,曲げ導波路,マルチモード干渉ビームスプリッタを設計,製造,測定した。シミュレーションと測定を比較した結果,a-Si:HはSOI材料と同様の性能を有するが,より低コストであり,シリコン上での光集積実現可能性により優れていることが分かった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST

シソーラス用語： *光導波路 ,  *SOI構造 ,  *アモルファスシリコン ,  水素化物 ,  窒化ケイ素 ,  *プラットフォーム【通信】 ,  CMOS構造 ,  *リンク ,  通信チャネル ,  ビームスプリッタ ,  *光集積回路
準シソーラス用語： 水素化アモルファスシリコン ,  光リンク

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン・オン・インシュレータ ,  アモルファスシリコン ,  窒化ケイ素 ,  プラットフォーム ,  光導波路