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J-GLOBAL ID：201702287339395494   整理番号：17A0650275

超短パルスレーザアブレーション中の入射波長に対するアブレーション閾値依存性

Ablation threshold dependence on incident wavelength during ultrashort pulsed laser ablation

著者 (4件)： OOSTERBEEK Reece N. (Univ. Auckland, Auckland, NZL) ,  ASHFORTH Simon (Univ. Auckland, Auckland, NZL) ,  BODLEY Owen (Univ. Auckland, Auckland, NZL) ,  SIMPSON M. Cather (Univ. Auckland, Auckland, NZL)
資料名： International Journal of Nanotechnology  (International Journal of Nanotechnology)
巻： 14  号： 1/6  ページ： 313-322  発行年： 2017年 
JST資料番号： A1346A  ISSN： 1475-7435  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *フェムト秒レーザ ,  *レーザアブレーション ,  パルスレーザ照射 ,  閾値 ,  *マイクロマシニング ,  半導体プロセス ,  エネルギー密度
準シソーラス用語： パルスレーザアブレーション ,  フェムト秒パルスレーザアブレーション

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 短パルスレーザ ,  アブレーション ,  入射波 ,  閾値 ,  依存性