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J-GLOBAL ID:201702287376499446   整理番号:17A1829573

低圧プラズマからの有機りん酸塩薄膜コーティングの化学と接着に及ぼす基板の影響【Powered by NICT】

The chemistry of organophosphate thin film coatings from low pressure plasma and the effect of the substrate on adhesion
著者 (4件):
資料名:
巻: 14  号: 11  ページ: ROMBUNNO.201700037  発行年: 2017年 
JST資料番号: W1950A  ISSN: 1612-8850  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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りん酸イオンを含むプラズマ重合体を前駆体としてリン酸トリエチルを用いて製造した。プラズマ相解析は,リン酸塩イオンがプラズマ中で高度に安定であることを示した,一方,中性種である炭化水素前駆体フラグメントである可能性が高い。RF電力入力を増すと析出へのイオンの寄与を増加させた。XPSによる表面分析は,プラズマ重合体表面は炭化水素種の混合物であった,P=O基を保持し,P-O基の僅かな損失であることを示した。種々の基板上に水中のプラズマ重合体の安定性は印加RF電力は膜溶解度にわずかな影響を持つことを示した。基板-プラズマ種相互作用の性質は不溶性構造を形成することができるにおいて重要である。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (3件):
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薄膜成長技術・装置  ,  有機化合物の薄膜  ,  放射線重合 
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