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J-GLOBAL ID：201702287628399586   整理番号：17A1259025

振動測定のための小型ファイバフェルールトップ光カンチレバー【Powered by NICT】

A miniaturized ferrule-top optical cantilever for vibration measurement

著者 (5件)： Li J. ,  Xu S. M. (Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Hefei, Anhui, P.R. China) ,  Sun J. N. (Institute of Mechanical, Process and Energy Engineering, Heriot-Watt University, Edinburgh, EH14, 4AS, UK) ,  Tang Y. Q. (Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Hefei, Anhui, P.R. China) ,  Dong F. Z. (Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Hefei, Anhui, P.R. China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： OFS  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,設計とレーザ加工を用いた標準単一モードファイバの先端に付着のための高分子マイクロカンチレバーを作製する技術を提案した。高分子片持梁は,高分子要求される形状へのシートをレーザマイクロマシニングによって作製し,次いで平坦な支持と結合層としてフォトレジストによるセラミックフェルールのトップ上に結合している。得られたカンチレバーの寸法が長い~1.2mm,幅~300μm,25μm厚さである。本研究では,単一センサの製作を記述したが,プロセスは大量生産への道を提供すると関連した。振動信号によるカンチレバー振動D FBレーザに基づく位相インタロゲーションシステムにより監視した。概念実証実験は,センサが0~800Hzの周波数範囲で振動信号を検出できることを示した。薄いポリマーシートを用い,長いカンチレバーを機械加工により,周波数応答範囲は数kHzまで拡張することができる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 単一モードファイバ ,  周波数 ,  フォトレジスト ,  *振動測定 ,  レーザ ,  機械工作 ,  センサ ,  *片持梁 ,  位相 ,  周波数応答 ,  大量生産 ,  レーザ加工 ,  実証実験
準シソーラス用語： 振動信号 ,  マイクロカンチレバー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (2件)： 振動測定 ,  カンチレバー