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文献
J-GLOBAL ID:201702287654067073   整理番号:17A0527154

くし駆動アクチュエータと統合した表面プラズモンベースの可変同調フィルタのナノオプトメカニカル特性化

Nano-optomechanical characterization of surface-plasmon-based tunable filter integrated with comb-drive actuator
著者 (5件):
資料名:
巻: 27  号:ページ: 034001,1-8  発行年: 2017年03月 
JST資料番号: W1424A  ISSN: 0960-1317  CODEN: JMMIEZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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入射光を選択的に伝送するカラーフィルタに関して,機械的動きにおけるピッチの変動に対応した波長の選択性,電圧制御ナノピッチ拡張に関連した伝送ピークにおけるシフトのような,可変同調フィルタのナノオプトメカニカル特性を検討した。アルミニウムナノワイヤの幅は250nm,厚さは100nm,アルミニウムサブ波長グレーティングは,400nmから650nmに拡張する。応答s九度は10kHzである。大きな静電力を生成するための厚い電極の形成で櫛形駆動アクチュエータの設置面積が低減する。波長の選択性を改善し,低いパワー消費を実現することができた。
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分類 (1件):
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光デバイス一般 
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