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J-GLOBAL ID：201702287758283991   整理番号：17A0232647

MEMS加速度計用の,プログラマブルな低電力低雑音のキャパシタンス・電圧変換器

Programmable Low-Power Low-Noise Capacitance to Voltage Converter for MEMS Accelerometers

著者 (5件)： ROYO Guillermo (Universidad de Zaragoza, Zaragoza, ESP) ,  SANCHEZ-AZQUETA Carlos (Universidad de Zaragoza, Zaragoza, ESP) ,  GIMENO Cecilia (Univ. Catholique de Louvain, Louvain-la-Neuve, BEL) ,  ALDEA Concepcion (Universidad de Zaragoza, Zaragoza, ESP) ,  CELMA Santiago (Universidad de Zaragoza, Zaragoza, ESP)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 17  号： 1  ページ： WEB ONLY  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小電気機械システム(MEMS)に基づいた,容量式加速度計用のキャパシタンス・電圧変換器(CVC)を紹介する。完全差動型トランスインピーダンス増幅器(TIA)に基づいており,34dBのトランスインピーダンス利得制御と,75kHzから1.2MHzの1桁を超えるプログラマブル帯域幅を特徴としている。このTIAは低コストで低電力の容量式センサー応用を狙っている。標準の0.18μm CMOS技術で設計され,消費電力はわずかに54μWである。最大トランスインピーダンス構成では,50kHzにおいて100μg/√(Hz)に相当する42fA/√(Hz)の等価入力雑音を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  *加速度計 ,  *センサ ,  *静電容量 ,  *同期検波 ,  *差動増幅器 ,  消費電力 ,  雑音 ,  電気変換器 ,  *利得制御 ,  *帯域幅 ,  CMOS構造 ,  変動 ,  周波数応答
準シソーラス用語： 容量センサ ,  *相互インピーダンス増幅器 ,  低電力 ,  低雑音 ,  容量電圧変換器 ,  プロセス変動

分類 (3件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  電流,電圧,電荷の計測法・機器  (AD07020C) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMS ,  加速度計 ,  低電力 ,  低雑音 ,  キャパシタンス ,  電圧変換