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J-GLOBAL ID：201702287927702896   整理番号：17A0470688

超音波振動マイクロツールによるナノワイヤ切断【Powered by NICT】

Nanowire cutting by an ultrasonically vibrating micro tool

著者 (2件)： Wang Xu (State Key Laboratory of Mechanics and Control of Mechanical Structures, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China) ,  Hu Junhui (State Key Laboratory of Mechanics and Control of Mechanical Structures, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 48  ページ： 152-157  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノスケール工作物の切削であるナノ試験と製作に有用であり,切断ナノ試料と簡単なデバイス構造のガス化を有する新しい切削法は実用的応用のために必要である。本論文では,超音波ナノワイヤ切削戦略を証明し,ここではマイクロ切削工具のチップと基板とナノワイヤの間の接着力の線形及び楕円振動を用いて,ナノワイヤを切断し,固定した。この戦略により,直径50nmから400nmまでの個々の銀ナノワイヤの切断が実行され,そこではマイクロ切削工具の根の振動速度振幅は18から220mm/sであり,作動周波数は約96.9kHz及び45.2kHzであった。AgNW直径に最小切削速度と最適切削速度範囲の下限の依存性を実験的に明らかにした。,切削原理を解析し,これは切開形態と切削特性を良く説明できる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *超音波 ,  *ナノワイヤ ,  切開術 ,  付着力 ,  工作物 ,  切削 ,  *超音波振動 ,  線形性
準シソーラス用語： 切削速度 ,  振動速度 ,  銀ナノワイヤ ,  楕円振動 ,  マイクロ切削 ,  ナノスケール ,  *マイクロツール , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 切削 ,  ナノワイヤ ,  超音波振動

分類 (3件)： 切削一般  (QC02010V) ,  その他の切削  (QC02040C) ,  フライス加工  (QC02030R)

タイトルに関連する用語 (3件)： 超音波振動 ,  マイクロツール ,  ナノワイヤ