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J-GLOBAL ID：201702288104890267   整理番号：17A1552912

電着ベース三次元直接描画技術により作製した銅ミクロヘリックスの超低曲げ特性【Powered by NICT】

Ultralow flexural properties of copper microhelices fabricated via electrodeposition-based three-dimensional direct-writing technology

著者 (8件)： Yi Zhiran (Zhejiang Key Laboratory of Additive Manufacturing Materials, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China. [e-mail]) ,  Lei Yu ,  Zhang Xianyun ,  Chen Yining ,  Guo Jianjun ,  Xu Gaojie ,  Yu Min-Feng ,  Cui Ping
資料名： Nanoscale  (Nanoscale)
巻： 9  号： 34  ページ： 12524-12532  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2323A  ISSN： 2040-3364  CODEN： NANOHL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 機能性成分としてのヘリカル金属ミクロ/ナノ構造は,将来の小型化デバイスにかなりの潜在力,それらのユニークな機械的および電気的性質に基づいている。と金属ヘリックスの機械的性質を理解し制御することがそれらの実際の応用に望ましいものである。明確でプログラム可能な三次元(3D)特徴を持つ銅マイクロヘリックスを成長させるために電着法に基づく直接描画法を実装した。3D螺旋構造の機械的性質は,電気的に誘起された準静的および動的電気機械共鳴法によって研究した。これらの方法は,主に静的プルインプロセスと動的電気機械応答を調べた。1.2μmワイヤ直径を持つ中心対称および垂直二重銅マイクロヘリックス構造は0.9×10~ 14Nm~2の曲げ剛性を持ち,1.1μmワイヤ直径を持つ単一垂直銅マイクロヘリックス構造は0.5989×10~ 14Nm~2の曲げ剛性を有することが分かった。マイクロワイヤと他の報告されたマイクロ/ナノ螺旋と比較して,ここで報告した銅マイクロヘリックスは超低剛性(約0.13±0.01Nm~ 1)を有することを見出した。実験結果は有限要素計算と良く一致することが分かった。提案した方法は,三次元複雑なマイクロ/ナノワイヤ構造の曲げ特性を作製し,測定に用いることができ,それらのユニークな機械的性質に基づくヘリックスベースのマイクロエレクトロメカニカルスイッチ,センサおよびアクチュエータのような種々の有用なマイクロデバイスにおけるマイクロヘリックスの応用に大きな影響を持つ可能性がある。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： センサ ,  金属線 ,  小型化 ,  剛性 ,  ヘリックス構造 ,  アクチュエータ ,  *電着 ,  電気機械 ,  曲げ剛性 ,  電気的性質 ,  *三次元 ,  ナノワイヤ ,  機械的性質
準シソーラス用語： *曲げ特性 ,  *直接描画 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電着 ,  直接描画 ,  作製 ,  銅 ,  ヘリックス ,  曲げ特性