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J-GLOBAL ID：201702288566347052   整理番号：17A0071206

ケイ素(001)配向PB(MN_(1/3)NB_(2/3))O_3-PB(ZR,TI)O_3薄膜の調製と強誘電性を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Study on Ferroelectric Properties of (001)-oriented Pb(Mn_(1/3)Nb_(2/3))O_3- Pb(Zr,Ti)O_3 Thin Films Prepared on Si Substrate

著者 (7件)： Zhang Chenghao (School of Mechanical and Materials Engineering,North China University of Technology) ,  Di Jiejian (School of Mechanical and Materials Engineering,North China University of Technology) ,  Tan Peipei (School of Mechanical and Materials Engineering,North China University of Technology) ,  Li Mingyong (School of Mechanical and Materials Engineering,North China University of Technology) ,  Zhao Quanliang (School of Mechanical and Materials Engineering,North China University of Technology) ,  Tan Xiaolan (School of Mechanical and Materials Engineering,North China University of Technology) ,  Wang Dawei (School of Mechanical and Materials Engineering,North China University of Technology)
資料名： Rengong Jingti Xuebao  (Rengong Jingti Xuebao)
巻： 45  号： 8  ページ： 2056-2060  発行年： 2016年 
JST資料番号： W0398A  ISSN： 1000-985X  CODEN： RJXUEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 6%PB(MN_(1/3)NB_(2/3))O_3-94%PB(ZR_(0.52)TI_(0.48))O_3(PMNN-PZT)強誘電性薄膜を,マグネトロンスパッタリングによって調製した。微細構造と強誘電特性を研究した。その結果,この鉄(001)は高配向であり,配向度は98%であることが判明した。10(10)次鉄電サイクル試験によって,強誘電体薄膜は疲労現象を持たなかった。10~4Sの間に,強誘電体の保持と特性は安定であり,明らかな劣化はなかった。この結果は,LANIO_3酸化物電極がPMNN-PZT薄膜の酸素空孔濃度を低下させ,電荷注入の問題を効果的に緩和することを示し,従って,PMNN-PZT薄膜の強誘電性を改善した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： キャリア注入 ,  マグネトロンスパッタリング ,  強誘電体 ,  *薄膜 ,  微細構造 ,  酸化物 ,  *強誘電性 ,  繰返し試験
準シソーラス用語： 酸素空格子点 ,  配向度 ,  強誘電体薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： PMnN-PZT ,  LNO ,  ferroelectric property ,  magnetron sputtering

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

タイトルに関連する用語 (9件)： ケイ素 ,  配向 ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  薄膜 ,  調製 ,  強誘電性 ,  研究