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J-GLOBAL ID：201702288587657848   整理番号：17A0353845

SIGEプラズマイオンの瞬態不安定性に関する研究【JST・京大機械翻訳】

INVESTIGATION ON THE INITIAL TRANSIENT INSTABILITY OF THE PLASMA IGNITION FROM SILANE/GERMANE/HYDROGEN

著者 (6件)： Hu Ruidan (Key Laboratory of Solar Thermal Energy and Photovoltaic System of Chinese Academy of Sciences, Institute of Electrical Engineering,Chinese Academy of Sciences) ,  Wang Guanghong (Key Laboratory of Solar Thermal Energy and Photovoltaic System of Chinese Academy of Sciences, Institute of Electrical Engineering,Chinese Academy of Sciences) ,  Zhao Lei (Key Laboratory of Solar Thermal Energy and Photovoltaic System of Chinese Academy of Sciences, Institute of Electrical Engineering,Chinese Academy of Sciences) ,  Wang Ge (Key Laboratory of Solar Thermal Energy and Photovoltaic System of Chinese Academy of Sciences, Institute of Electrical Engineering,Chinese Academy of Sciences) ,  Diao Hongwei (Key Laboratory of Solar Thermal Energy and Photovoltaic System of Chinese Academy of Sciences, Institute of Electrical Engineering,Chinese Academy of Sciences) ,  Wang Wenjing (Key Laboratory of Solar Thermal Energy and Photovoltaic System of Chinese Academy of Sciences, Institute of Electrical Engineering,Chinese Academy of Sciences)
資料名： Taiyangneng Xuebao  (Taiyangneng Xuebao)
巻： 37  号： 10  ページ： 2491-2496  発行年： 2016年 
JST資料番号： W0629A  ISSN： 0254-0096  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 水素(H_2),シラン(SIH_4),およびゲルマン(GEH_4)のプラズマ安定化時間を,発光(OES)モニタリング技術を用いてオンラインでモニターし,プラズマの安定性に及ぼす電力と圧力の影響を研究した。結果は,パワーがプラズマの安定性に大きな影響を及ぼすことを示して,それは,より低いパワーによって,より高いパワーにおいて,より多くの時間によって安定した状態に達することができた。しかし,電力の増加とともに,ガスの安定性に及ぼす気圧の影響は,明らかになった。これらのプラズマの熱安定性は主にシラン(SIH_4)、ゲルマン(GEH_4)などの気体の反拡によって引き起こされ、さらに水素流量を増加することによって、SIH_4などの気体の拡散度を有効に下げることができることが分かった。SIGEなどの離子体達の安定状態を短縮するための所要時間を短縮した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 水素 ,  ゲルマン ,  *プラズマ ,  流量 ,  プラズマ安定化 ,  電力 ,  *不安定性 ,  ターンアラウンド時間 ,  発光 ,  熱安定性 ,  シラン
準シソーラス用語： オンライン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： optical emission spectroscopy ,  transient instability ,  back diffusion ,  flow rate of hydrogen

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： SiGe ,  プラズマ ,  イオン ,  不安定性 ,  研究