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J-GLOBAL ID：201702288927731792   整理番号：17A1712717

フェムト秒レーザ加工による単結晶シリコン表面上の円錐アレイ微細構造の直接製造【Powered by NICT】

Direct fabrication of cone array microstructure on monocrystalline silicon surface by femtosecond laser texturing

著者 (2件)： Wang Quanji (Key Laboratory of Optical Information Detection and Display Technology of Zhejiang, Zhejiang Normal University, Jinhua, 321004, China) ,  Zhou Weidong (Key Laboratory of Optical Information Detection and Display Technology of Zhejiang, Zhejiang Normal University, Jinhua, 321004, China)
資料名： Optical Materials  (Optical Materials)
巻： 72  ページ： 508-512  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0468A  ISSN： 0925-3467  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 太陽光利用率の向上は,太陽電池の開発のための重要な因子である。本論文では,準均一円錐アレイのような微細構造を直接代替フェムト秒レーザテクスチャリング法を用いた大気中の単結晶シリコン表面上に作製した。微細構造のような製作した円錐アレイは8μmまでのスパイク深さを持ち,微細構造のような円錐アレイと入射光の間の効果的な光結合により光反射を実質的に低減することができる。平面シリコンウエハと比較して,円錐アレイ構造の相対反射率は400から1000nmの測定波長範囲で9%以下に減少した。これは表面微細構造光起電力材料の最適製造のための有望な方法である,太陽電池,赤外線センサ,等に用いられている。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光反射 ,  太陽電池 ,  *円錐 ,  *フェムト秒レーザ ,  赤外検出器 ,  *フェムト秒 ,  光起電力 ,  *微細構造 ,  太陽光 ,  波長 ,  反射率
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  光結合 ,  レーザテクスチャリング ,  *単結晶シリコン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： フェムト秒レーザ ,  相対的反射率 ,  コアアレイ微細構造 ,  単結晶シリコン

分類 (2件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (5件)： フェムト秒レーザ加工 ,  単結晶シリコン ,  円錐 ,  アレイ ,  微細構造