走査モアレ偏向法を用いた高精度非球面測定:三次元誤差解析と実験

HU Tingzhi; XIAO Muzheng; WANG Xicheng; WANG Chao; ZHANG Zhijing; TAKAMASU Kiyoshi

文献

J-GLOBAL ID：201702289070554159 整理番号：17A1110681

走査モアレ偏向法を用いた高精度非球面測定:三次元誤差解析と実験

High-Precision Aspheric Surface Measurement Using Scanning Deflectometry: Three-Dimensional Error Analysis and Experiments

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資料名：
巻： 11 号： 5 ページ： 728-735 発行年： 2017年09月05日
JST資料番号： L0997B ISSN： 1881-7629 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

干渉計は,高精度と高効率のために,大非球面を測定するために広く使用されている。しかしながら,大きな曲率と非球面性を持つ非球面には使用できない。本論文で筆者らは,オートコリメータを用いた走査モアレ偏向法を使用して非球面を測定する方法を提案した。大きな傾斜変化を有する非球面を測定できるように,オートコリメータの測定範囲を拡大するために,回転ステージを使用した。3次元誤差解析を行なった。筆者らは実験を行うために,測定範囲21500μrad(4500arcsec)のオートコリメータを使用して曲率半径400mmの球面を測定した。実験結果は,平均二乗平均誤差が約100nmであることを示した。(翻訳著者抄録)

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その他の光学的測定法とその装置 , 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器

引用文献 (11件)：

H. Suzuki, “Multi-Axis Controlled Ultraprecision Machining and Measurement,” Int. J. of Automation Technology, Vol.3, pp. 227-232, 2009.
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