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J-GLOBAL ID：201702289076230514   整理番号：17A0621588

空間光変調器の実装による非接触表面粗さ測定

Non-Contact Surface Roughness Measurement by Implementation of a Spatial Light Modulator

著者 (4件)： AULBACH Laura (Technische Univ. Muenchen, Munich, DEU) ,  BLOISE Felix Salazar (Universidad Politecnica de Madrid, Madrid, ESP) ,  LU Min (Technische Univ. Muenchen, Munich, DEU) ,  KOCH Alexander W. (Technische Univ. Muenchen, Munich, DEU)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 17  号： 3  ページ： WEB ONLY  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面構造,特に粗さは,摩擦や磨耗などの多くのパラメータに大きな影響を及ぼし,したがって,技術システムの品質を評価する。過去数十年間に,広範囲の表面粗さ測定方法が開発された。破壊的な測定方法またはオンライン監視の実現可能性の欠如は,これらの方法の大部分において重大な欠点である。本論文では,実装が簡単でオンライン監視プロセスに容易に拡張できる表面粗さを測定するための新しい非接触方法を提案した。重要な要素は,インターフェロメトリック装置に組み込まれた液晶ベースの空間光変調器であった。モジュレータにインプリントされた位相を変化させることによって,インプリントされた位相とインターフェログラムのフリンジの可視性との間の相関が測定され,表面粗さを導き出すことができた。本論文では,この方法の理論的アプローチおよび第1シミュレーションと,表面粗さの集合についての実験結果を提示した。実験結果を原子間力顕微鏡とスタイラスプロファイラで得られた値と比較した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *空間光変調素子 ,  *表面粗さ ,  *非接触測定 ,  干渉測定 ,  シミュレーション ,  監視 ,  オンラインシステム ,  原子間力顕微鏡 ,  顕微鏡観察 ,  表面構造 ,  可視度
準シソーラス用語： オンライン監視

分類 (2件)： 光変調器  (BD06020W) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 空間光変調器 ,  実装 ,  非接触 ,  表面粗さ