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J-GLOBAL ID：201702289153377710   整理番号：17A1534635

La₂O₃/SnO₂積層素子のCO₂センシング特性に対する素子形状の影響

INFLUENCES OF DEVICE GEOMETRY ON CO₂ SENSING CHARACTERISTICS OF La₂O₃/SnO₂ STACKED DEVICE

著者 (4件)： 松田恭輔 (豊橋技科大) ,  岩田達哉 (豊橋技科大) ,  高橋一浩 (豊橋技科大) ,  澤田和明 (豊橋技科大)
資料名： Chemical Sensors  (Chemical Sensors)
巻： 33  号： Supplement A  ページ： 7-9  発行年： 2017年03月25日 
JST資料番号： L3948A  CODEN： KAGSEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SiO₂/Si基板上にPt/Ti電極を形成後,SnO₂をスパッタリング法により製膜し,その上にMOD法によりLa₂O3を製膜,O₂雰囲気下650°Cで焼成してLa₂O₃/SnO₂積層構造のセンサ素子を作製した。La₂O₃の膜厚は20nmとし,SnO₂の膜厚を変え(16~107nm)4種類の素子を得た。そして1000ppmのCO₂に対する感度をSnO₂膜厚依存性および電極形状から評価した。その結果,膜厚が小さい程感度は大きくなる傾向にあることが分った。また,SnO₂の膜厚が一定の場合,CO₂感度は,CO₂濃度と共に増加し,膜厚が小さい方が高い。また,電極形状を平板構造から櫛形構造に変えるとCO₂感度が増加することが分った。これらの結果から,電極との界面近くの抵抗がCO₂応答性に寄与していることが示唆された。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *二酸化炭素 ,  *酸化ランタン ,  *酸化スズ ,  スパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  二酸化ケイ素 ,  ケイ素 ,  *蒸着膜 ,  *半導体薄膜 ,  *積層構造 ,  固体素子 ,  溶液成長 ,  薄膜成長 ,  *感度 ,  依存性 ,  *膜厚 ,  *電極 ,  形態 ,  基板 ,  櫛形
準シソーラス用語： MOD法 ,  センサ素子 ,  櫛形電極 ,  形状依存性 ,  膜厚依存性

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

引用文献 (6件)：

• M. Futagawa et al., Jpn. J. Appl. Phys., 48, 04C184 (2009).
• S. Maeng et al., ETRI J., 30, 516 (2008).
• D.H. Kim et al., Sens. Actuators B, 62, 61 (2000).
• N. Mizuno et al., Sens. Actuators B, 13, 473 (1993).
• A. Marsal et al., Morante, Sens. Actuators B, 94, 324 (2003).

タイトルに関連する用語 (3件)： La2O3 ,  CO2 ,  センシング