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J-GLOBAL ID：201702289181824166   整理番号：17A0938128

トレンチエッジを持つエンボス加工したマイクロスケールスタンプにより作製したマイクロおよびナノパターン【Powered by NICT】

Micro- and nano-patterns fabricated by embossed microscale stamp with trenched edges

著者 (3件)： Choi Jin-Hyun (Department of Physics, Pukyong National University, Busan 608-737, Korea. [e-mail]) ,  Oh Chang-Mok ,  Jang Jae-Won
資料名： RSC Advances (Web)  (RSC Advances (Web))
巻： 7  号： 51  ページ： 32058-32064  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7055A  ISSN： 2046-2069  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Au線パターンのサブミクロン幅は毛細管力とエッジ移動リソグラフィー(ETL)を利用してミクロン幅のポリジメチルシロキサン(PDMS)スタンプから作製した。Al(OH)3からなるテンプレートをガラス基板上のAuナノ膜(30 nm)-堆積したAl薄層(50 nm)に及ぼすKOHインク負荷マイクロスケールPDMSスタンピングによって実施された,毛細管力リソグラフィー(CFL)により作製した。Auナノ膜はOH~-イオンチャンネルとして機能することから,突出したAl(OH)3微細構造は,Al薄層下の反応pH依存性成形プロセスによって得た。突出したAl(OH)3テンプレートは,成形工程中の成形PDMSスタンプとAl(OH)3溶液の壁に作用する毛管力に起因する成形領域で鋭いエッジを持っている。例えば,ドットPDSMスタンプ(φ:4.5μm,ギャップ3μm)により作製した突出したAl(OH)3の最高と最も広いリングエッジを1M KOHインクで20分の成形時間により求めた。突出したAl(OH)3微細構造をテンプレートをドットと線PDMSスタンプを作製した。複製したPDMSスタンプをスタンプの接触面のまわりの深い溝を持っている;,複製されたPDMSスタンプは,埋込み空間における保持インク溶液の利点を有している。複製線PDMSスタンプと(ETL),線形接触地域周辺の深い溝を持つにより,幅700nmのAu線パターンアレイを20分間Au/Ti(30 nm/5 nm)-蒸着したシリコン基板と逐次Auエッチングに及ぼす16-メルカプトヘキサデカン酸(MHA)パターン形成により作製した。本研究では,(ETL)に有利なPDMSスタンプをAuナノ膜ベースCFL法で作製した固体Al(OH)3テンプレートにより得られることを実証した。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 毛管力 ,  アルミニウム ,  薄膜 ,  *エンボス加工 ,  リソグラフィー ,  インク ,  複製 ,  ポリジメチルシロキサン ,  金 ,  微細構造 ,  パターン形成 ,  ナノシート
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  *スタンプ ,  ナノ薄膜 ,  ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (5件)： トレンチ ,  エッジ ,  エンボス加工 ,  作製 ,  ナノパターン