マイクロWC棒電極を用いたFe<sub>64</sub>Ni<sub>36</sub>アンバ膜の電気化学的マイクロマシニング特性

CHOI Woong-Kirl; KIM Seong-Hyun; LEE Eun-Sang

文献

J-GLOBAL ID：201702289377900702 整理番号：17A0397169

マイクロWC棒電極を用いたFe₆₄Ni₃₆アンバ膜の電気化学的マイクロマシニング特性

Electrochemical micro machining characteristics of Fe₆₄Ni₃₆ invar film using micro WC rod electrode

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巻： 23 号： 2 ページ： 405-410 発行年： 2017年02月
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

マイクロパターンを有する素子の開発で最も重要な技術の一つは電気化学マイクロマシニング(ECMM)である。本研究では,WC棒電極を用いたアンバ薄膜のECMM加工特性を調べた。印加電圧,加工時間,パルス条件を制御することにより,アンバ膜の加工領域や溝の深さを制御できる。アンバ膜の厚みは僅か30μmであるため,従来の機械加工法では非常に困難であるが,これらの方法は薄いアンバ膜に微小溝を機械加工できる。印加電圧および加工時間の増加に伴い,加工深さと加工領域の範囲が大きくなった。材料除去速度と加工確度に適する印加電圧はアンバ膜ECMMで6Vであった。60%のデューティ因子は加工速度と精度の両方を充たした。

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固体デバイス製造技術一般

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マイクロWC棒電極を用いたFe64Ni36アンバ膜の電気化学的マイクロマシニング特性

マイクロWC棒電極を用いたFe₆₄Ni₃₆アンバ膜の電気化学的マイクロマシニング特性