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J-GLOBAL ID：201702289561259334   整理番号：17A0436324

特殊加工の世界 真空技術によるフィルムの応用

著者 (1件)： 長谷川正樹 (アルバック 超材料研)
資料名： 印刷雑誌  (Japan Printer)
巻： 100  号： 4  ページ： 21-28  発行年： 2017年04月15日 
JST資料番号： G0098A  ISSN： 0020-1758  CODEN： INZAA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： モバイル機器や,Gas Barrierなどの用途で,フィルム製品が広く用いられており,フィルムの付加価値を高めるための真空技術が使用されている。本稿は,各種フィルム製品と,それらに求められる真空技術を紹介した。身近にある真空技術を用いたフィルムアプリケーションとしては包装用透明Barrier膜があり,その成膜手法には,物理蒸着法が主に使用されていると述べ,物理蒸着法について概説した。また,主なフィルムの種類を紹介すると共に,スマホ,タブレット用途のタッチセンサを取り上げ,その構造などを説明した。更に,タッチセンサに使用されるスパッタ技術に触れ,低温低抵抗ITO技術,ITO配線の不可視化技術,誘電体高速成膜技術を紹介した。その他,反射防止を目的としたAR(Anti Reflective)フィルム,量子ドットディスプレイなどについて説明した。

シソーラス用語： *スパッタリング ,  *特殊加工 ,  *真空技術 ,  *膜 ,  *携帯端末 ,  ガスバリヤ性 ,  付加価値 ,  包装 ,  *物理蒸着 ,  スマートフォン ,  タブレット ,  誘電体 ,  量子ドット ,  表示装置
準シソーラス用語： スパッタ法 ,  *タッチセンサ ,  *フィルム ,  モバイル機器 ,  *成膜 ,  *透明膜 ,  *反射防止

分類 (2件)： 薄膜一般  (BK14010X) ,  スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (5件)： 特殊加工 ,  世界 ,  真空技術 ,  フィルム ,  応用