文献

J-GLOBAL ID：201702289857223188   整理番号：17A1256473

28nm FD-SOIのための分割C-Vに基づくパラメータ抽出方法論の系統的評価【Powered by NICT】

Systematic evaluation of the split C-V based parameter extraction methodologies for 28 nm FD-SOI

著者 (6件)： Pradeep Krishna (STMicroelectronics, Crolles Site, 850 rue Jean Monnet, 38926, France) ,  Gouget Gilles (STMicroelectronics, Crolles Site, 850 rue Jean Monnet, 38926, France) ,  Poiroux Thierry (CEA-Leti, MINATEC Campus, 38054 Grenoble Cedex 9, France) ,  Scheer Patrick (STMicroelectronics, Crolles Site, 850 rue Jean Monnet, 38926, France) ,  Juge Andre (STMicroelectronics, Crolles Site, 850 rue Jean Monnet, 38926, France) ,  Ghibaudo Gerard (IMEP-LAHC, MINATEC Campus, 3 Parvis Louis Ne ́el, 38016 Grenoble, Cedex 1, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICMTS  ページ： 1-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,FD-SOI構造における分割C-V測定を用いたパラメータ抽出のためのロバストな方法論を開発した。これらの方法である工業的観点から非常に重要である自動化されたロバストな抽出手順を可能にした。改良法の精度とロバスト性は,物理的特性を有する28nm FD-SOIデバイスと比較について実施した統計的測定を用いて検証した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *ロバスト性 ,  自動化
準シソーラス用語： *パラメータ抽出 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： ロボットの運動・制御  (IC04012J)

タイトルに関連する用語 (5件)： SOI ,  パラメータ抽出 ,  方法論 ,  系統 ,  評価