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J-GLOBAL ID：201702290191165688   整理番号：17A1485783

不活性ガスの非常に低いガス流のための流量計【Powered by NICT】

Flowmeter for very low gas flows of inert gases

著者 (2件)： Avdiaj Sefer (Department of Physics, University of Prishtina, Rr. Mother Teresa av3, 10000 Pristina, Kosovo) ,  Setina Janez (Institute of Metals and Technology, Lepi Pot 11, SI-1000 Ljubljana, Slovenia)
資料名： Measurement  (Measurement)
巻： 111  ページ： 384-388  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0315B  ISSN： 0263-2241  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガス流れが,一定容積 可変圧力法を用いて測定した。ガス流はスピニングローターゲージ(SRG)を用いた圧力上昇法により測定した。設計は比較的簡単であり,一定変圧量法と比較して正確に可動部を持たない。ガス放出効果により測定したガス流に及ぼす水素ガス放出の影響を減少させるために,非蒸発性ゲッタポンプを用いた。圧力上昇法の下限は5×10~ 10mbarl/sでありこれは一定コンダクタンス法を用いて3×10~ 12mbarl/sに拡張した。この流量計を用いて,2×10~ 7mbarまで8×10~ 13mbarの範囲でこの較正システムにおけるアルゴンのキャリブレーション圧力を発生させた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *流量計 ,  水素 ,  *不活性ガス ,  コンダクタンス ,  *気体流 ,  ガス放出 ,  アルゴン
準シソーラス用語： 非蒸発性ゲッタ ,  圧力上昇 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 気体流 ,  ガス放出 ,  流量計

分類 (1件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 不活性ガス ,  ガス流 ,  流量計