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J-GLOBAL ID：201702290242737767   整理番号：17A1834234

大膜厚測定のためのテラヘルツ時間領域分光法とテラヘルツディジタルホログラフィーの比較【Powered by NICT】

A comparison of terahertz time domain spectroscopy and terahertz digital holography for large film thickness measurement

著者 (2件)： Ghareab Dahi (Engineering and surface metrology department, National Institute of Standards, El-Giza, Egypt) ,  Ibrahim Abdelsalam (Engineering and surface metrology department, National Institute of Standards, El-Giza, Egypt)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CLEO-PR  ページ： 1-2  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 角スペクトルで再構成されたテラヘルツ時間領域分光法(THz TDS)とテラヘルツディジタルホログラフィー(THz DH)は膜厚測定のために使用した。実験結果は周波数領域は正確な測定における時間領域より有利であることを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 再構成 ,  *周波数領域
準シソーラス用語： *時間領域 ,  *テラヘルツ時間領域分光法 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の分光法と分光計  (BD07042H) ,  分光法と分光計一般  (BD07041Q)

タイトルに関連する用語 (2件)： 膜厚測定 ,  テラヘルツ時間領域分光法