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J-GLOBAL ID:201702290245758060   整理番号:17A1249526

層間挿入による多様な金属膜を用いた亀裂断面歪センサ【Powered by NICT】

Crack-based strain sensor with diverse metal films by inserting an inter-layer
著者 (6件):
資料名:
巻:号: 55  ページ: 34810-34815  発行年: 2017年 
JST資料番号: U7055A  ISSN: 2046-2069  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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ヒト運動を検出するための種々の感覚系は,ウェアラブル健康管理と人工電子皮膚のために開発した。最近,クモのスリット器官に触発された超高感度機械的亀裂に基づく歪センサを提案した。振動に対するその高感度,柔軟性,魅力的なセンシング能力にもかかわらず,センサを製造するために使用できる材料は基板と金属膜の間の低い接着のためにある種に限定されている。,基板と材料の適合性は,実用的なセンサシステムの開発における重要な問題である。ここでは,中間層を導入することにより,種々の金属(Au,Ag,Pt)膜を用いた機械的亀裂に基づく歪センサを提示した。二中間層を使用している;Cr層は基板と金属層の間の接着を強化するための亀裂とMoO_3層を発生するためのものである。亀裂はCr層上に生成されるとき,それらは導電性金属層(Au,Ag,Pt)に伝搬した。亀裂に基づく歪センサは歪(2%歪でのAuとAg層状亀裂センサのためのGF=~1600,2%歪でPt層状センサのためのGF=~850)に高感度で再現性と耐久性を示した。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
分類
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 
タイトルに関連する用語 (4件):
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