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J-GLOBAL ID：201702290277245456   整理番号：17A1693875

バイオセンサー用1.0μmギャップのAl櫛形電極(IDE)の設計,製作および特性評価

Design, fabrication and characterization of 1.0 μm Gap Al based interdigitated electrode for biosensors

著者 (3件)： RAJAPAKSHA R. D. A. A. (Universiti Malaysia Perlis, Perlis, MYS) ,  HASHIM U. (Universiti Malaysia Perlis, Perlis, MYS) ,  FERNANDO C. A. N. (Wayamba Univ. Sri Lanka, Kuliyapitiya, LKA)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 10  ページ： 4501-4507  発行年： 2017年10月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 今日では,溶液中の低濃度の細菌を検出するための高感度ポータブルデバイスの使用は,病院におけるポイントオブケア診断および環境保護に不可欠である。過去10年にわたり,生体分子を特徴づけ,定量化するために,超小型化されたセンサーが,マイクロおよびナノテクノロジーに基づく製造を用いて開発されてきた。本稿では,従来のリソグラフィと標準的なCMOSプロセスを用い,1μmのフィンガギャップで開発されたAl IDEのデータを紹介する。フォトマスクはAutoCADソフトウェアを使用して設計された。製造されたIDEは,SEM画像を用いて物理的に,I-V測定を用いて電気的に,I-V測定を使用して異なるpH緩衝溶液を化学的に特徴付けられた。SEM画像は,IDEが0.1μmの公差で良好に製造されたことを確認した。電気的測定により,IDEが欠陥もなく良好に製造されたことが確認され,同様のIDEサンプルの結果から,装置の再現性が確認された。ナノアンペア範囲変動の極めて小さな電流を,異なるpH緩衝液に対して1μlの追加の小容量を用いて定量的に検出した。

シソーラス用語： *バイオセンサ ,  *アルミニウム ,  *電極 ,  *細菌 ,  計測器 ,  *半導体プロセス ,  *緩衝液
準シソーラス用語： *櫛形電極 ,  ポータブル型計器 ,  CMOSプロセス ,  *pH緩衝液

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  微生物検査法  (EG02020G)

タイトルに関連する用語 (8件)： バイオセンサー ,  ギャップ ,  Al ,  櫛形電極 ,  IDE ,  設計 ,  製作 ,  特性評価