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J-GLOBAL ID：201702290308173269   整理番号：17A1009923

露点温度変動に基づくCMHとPRTを用いたポリマー薄膜湿度センサーの測定不確かさの評価

Evaluation of Measurement Uncertainty for Polymer Thin Film Humidity Sensor Using CMH and PRT Based on Dew Point Temperature Variation

著者 (3件)： BAE Yun-Kyung (Korea Testing Lab., Gyeonggi-do, KOR) ,  LEE Dong-Eun (Korea Testing Lab., Gyeonggi-do, KOR) ,  HYUN Dong-Hoon (Korea Polytechnic Univ., Gyeonggi-Do, KOR)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 730  ページ： 587-594  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリマー薄膜容量湿度センサーは優れた線形応答と高精度のため製造現場で広く使用され,校正用参照標準でもある。一定期間内に校正し,測定の不確かさを評価する必要がある。本研究の目的は,ポリマー薄膜容量湿度センサーの測定結果の不確かさについて,鏡面冷却式湿度計(CMH)と白金抵抗温度計(PRT)により,0°C前後の比較的低い参照湿度範囲で詳細に分析した。測定の不確かさについて,約5%と10%(0°C以下,露点温度)と30%(0°C以上,露点温度)の参照相対湿度で測定した結果を評価した。測定不確さの評価手順は欧州認定協力機構のEA-4/02で確立された原理に基づく。

シソーラス用語： *高分子薄膜 ,  *湿度センサ ,  *不確実性 ,  *計測 ,  湿度計 ,  抵抗温度計 ,  白金 ,  電気抵抗 ,  *露点
準シソーラス用語： ポリマ薄膜 ,  測定不確かさ ,  白金抵抗温度計 ,  *露点温度

分類 (2件)： 湿度測定,湿度計  (AD06020V) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 露点温度 ,  ポリマー薄膜 ,  湿度センサー ,  測定不確かさ ,  評価