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J-GLOBAL ID：201702290492488528   整理番号：17A1276722

新しいZ軸センシング方式を用いた3軸CMOS MEMS誘導加速度計【Powered by NICT】

Three-axis CMOS MEMS inductive accelerometer with novel Z-axis sensing scheme

著者 (3件)： Chiu Yi (Department of Electrical and Computer Engineering, National Chiao Tung University, Hsin Chu, Taiwan, R.O.C.) ,  Hong Hao-Chiao (Department of Electrical and Computer Engineering, National Chiao Tung University, Hsin Chu, Taiwan, R.O.C.) ,  Chang Chi-Ming (Department of Electrical and Computer Engineering, National Chiao Tung University, Hsin Chu, Taiwan, R.O.C.)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 410-413  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,0.18μm CMOSプロセスにより作製した三軸CMOS MEMS誘導加速度計を報告した。ばねとインダクタ巻線は同時に単一シャトル質量関数周辺の折畳まれた懸濁液ビーム。巻線インダクタンスはシャトル質量変位による変形によって変化した。インダクタンス変化を,差動LCタンク発振器により感知される。新しいz軸誘導センシング方式を提案した。実験はx,y,およびz軸で12.9%,21.6%,1.2kHz/gの感度を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 発振器 ,  懸濁液 ,  *CMOS ,  巻線 ,  インダクタンス ,  *MEMS ,  貯槽 ,  *加速度計
準シソーラス用語： シャットル ,  *三軸 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (7件)： z軸 ,  センシング ,  3軸 ,  CMOS ,  MEMS ,  誘導 ,  加速度計