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J-GLOBAL ID：201702290610743526   整理番号：17A1444961

光活性ポリイミド上の金属導電性表面パターン形成【Powered by NICT】

Metal Conductive Surface Patterning on Photoactive Polyimide

著者 (7件)： Liu Jing (Key Laboratory for Polymeric Composite and Functional Materials of Ministry of Education, Guangdong Engineering Technology Research Center for High-performance Organic and Polymer Photoelectric Functional Films, School of Chemistry, Sun Yat-sen University, Guangzhou, 510275, China) ,  Li Minfeng (College of Chemistry, Beijing Normal University, Beijing, 100875, China) ,  Yang Yuzhao (Key Laboratory for Polymeric Composite and Functional Materials of Ministry of Education, Guangdong Engineering Technology Research Center for High-performance Organic and Polymer Photoelectric Functional Films, School of Chemistry, Sun Yat-sen University, Guangzhou, 510275, China) ,  Xu Lirong (Key Laboratory for Polymeric Composite and Functional Materials of Ministry of Education, Guangdong Engineering Technology Research Center for High-performance Organic and Polymer Photoelectric Functional Films, School of Chemistry, Sun Yat-sen University, Guangzhou, 510275, China) ,  Lin Jingjing (Key Laboratory for Polymeric Composite and Functional Materials of Ministry of Education, Guangdong Engineering Technology Research Center for High-performance Organic and Polymer Photoelectric Functional Films, School of Chemistry, Sun Yat-sen University, Guangzhou, 510275, China) ,  Hong Wei (Key Laboratory for Polymeric Composite and Functional Materials of Ministry of Education, Guangdong Engineering Technology Research Center for High-performance Organic and Polymer Photoelectric Functional Films, School of Chemistry, Sun Yat-sen University, Guangzhou, 510275, China) ,  Chen Xudong (Key Laboratory for Polymeric Composite and Functional Materials of Ministry of Education, Guangdong Engineering Technology Research Center for High-performance Organic and Polymer Photoelectric Functional Films, School of Chemistry, Sun Yat-sen University, Guangzhou, 510275, China)
資料名： Advanced Functional Materials  (Advanced Functional Materials)
巻： 27  号： 33  ページ： ROMBUNNO.201701674  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1336A  ISSN： 1616-301X  CODEN： AFMDC6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属相互接続と接触の現行の製造法は一般的に高価な装置と多重material/time消費段階を必要とする従来のフォトレジスト製作法に基づいている。本研究では,光パターン化可能なポリイミドは,UV照射下で分解パラジウムイオンのピリジン基有望な配位子にできる1,4 ジヒドロピリジン側鎖を持つ機能性ジアミン単量体の共重合により合成した。パラジウムイオンの吸収後,無電解銅めっきは,銅の金属パターンを形成するために行った。平滑境界を持つ銅パターンを走査電子顕微鏡と原子間力顕微鏡により確認した。銅とポリイミド膜の間のロバストな界面結合はスコッチテープ接着試験によって証明した。光パターン化可能なポリイミドは低Pd消費の利点,膨張装置なしで容易な操作を持っている。光パターン化可能なポリイミドの線形熱膨張係数は,銅線の1に近いであり,集積回路応用のための光パターン化可能なポリイミドの適応性を実証した。本研究は,(i)新しい光パターン化可能なポリイミドの合成と(ii)柔軟な導電性金属構造とパターン形成した金属相互接続,フレキシブルエレクトロニクスの分野で大きな可能性を持つことを期待できるを作るためのその応用のアプローチを提案した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *導電性 ,  界面 ,  フォトレジスト ,  走査電子顕微鏡 ,  ジアミン ,  *パターン形成 ,  紫外線照射 ,  *ポリイミド ,  集積回路 ,  原子間力顕微鏡 ,  単量体 ,  相互接続 ,  適応性 ,  熱膨張係数 ,  銅

著者キーワード (4件)： フレキシブルエレクトロニクス ,  金属相互接続 ,  光学活性材料 ,  光パターン形成

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光活性 ,  ポリイミド ,  導電性 ,  パターン形成